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LEDIA TWIN 直接描画装置 カタログ rin

FC-CSPはじめ多彩な半導体パッケージ基板に
最適なダイレクトイメージング装置
また電子部品などの製造用途への適用にも

NEW Release大サイズへの要求にも対応

露光品質はそのままに、32インチのサイズまで対応したモデル*もラインナップ。描画精度の求められるメタルマスクやプローブ基板などの大判材料向けの用途でもお使いいただけます。

*LI-7F-L

次世代の描画品質

高分解能化の効果

曲線のがたつきが滑らかに

描画サンプル

  • L/S = 50/50μm

    L/S = 50/50μm

    ※SCREEN指定の条件下で露光した限度見本です。

  • L/S = 40/40μm

    L/S = 40/40μm


  • L/S = 8/8μm

    L/S = 8/8μm

    ※SCREEN指定の条件下で露光した限度見本です。

  • L/S = 7/7μm

    L/S = 7/7μm


  • 8μm line

    8μm line

    ※SCREEN指定の条件下で露光した限度見本です。

  • 7μm line

    7μm line


  • SRO = 80μm

    SRO = 8μm

    ※SCREEN指定の条件下で露光した限度見本です。

  • SRO = 40μm

    SRO = 40μm

新機能 Design matchingを搭載、高精度な位置合わせが可能に!

点対称図形(Point symmetric figure)でなくても使える

任意のパターンをアライメントマークとして使える

  • Design matching
  • Design matching

変幻自在の3波長LED光源

3波長LED光源

3波長の出力比を自在にコントロール

3波長LED光源

3波長出力比によりSR開口形状のコントロールが可能

多種多様なアライメント

アライメント機能

  • マーク撮影時に
    ステージを止めない

    SRO = 8μm
  • ステージの往路・復路で
    マークを撮像する

    SRO = 8μm
  • 隣りのマークもカメラ視野に
    入れる場合一度に撮像

    SRO = 8μm

隣接マーク同時撮像で更なる高速化も

アライメント機能

  • グローバル

    矩形補正

    矩形補正

  • 複数点歪み補正

    線形補正 曲線補正

    線形補正

    曲線補正

  • マーク共有

    矩形補正

    矩形補正

  • 複数点エリア毎

    矩形補正 線形補間

    矩形補正

    線形補間

多彩なアルゴリズムで基板毎に最適な位置合わせを実現

オートフォーカス機能

オートフォーカス機能と基板ソリへの対応

  • オートフォーカス
  • メカニカルクランプ
  • 吸着エリア自動切替え
オートキャリブレーション機能

オートフォーカス機能とオプション機構により基板のソリに対応

オートキャリブレーション機能

  • 露光開始時
  • 経時変化後
  • キャリブレーション後
オートキャリブレーション機能

*アライメントカメラも同様にキャリブレーションを行います。

装置を止めることなく正確にパターニングを実現

自動化への対応

バーコード対応

  • バーコード対応

    片面自動露光タイプ

  • バーコード対応

    両面自動露光タイプ

トレーサビリティ管理

多彩なバーコードに対応可能

  • 1Dコード

    1Dコード
  • 2Dコード

    2Dコード 2Dコード

製造工程全体の高いトレーサビリティを実現

2Dコードを印字機能

基板だけではなく面付けされたピース毎に2Dコードを付加可能

自動化対応

露光工程での無人化、スキルレス化を進めたい

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自動化に必要な情報

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ジョブデータと紐付いた露光レシピ

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基板と紐付いた製品情報

露光工程での無人化、スキルレス化を実現