本直接成像設備可適用於
FC-CSP等各種半導體封裝用基板
NEW Release支持大尺寸需求
該產品陣容在保持曝光質量的條件下最大支持32英寸的型號*。也可用於金屬掩模， 探針基板等對繪圖精度有要求的大尺寸材料的用途。
*LI-7F-L
新世代的成像品質
高解析化效果
曲線平滑化
成像樣本
-
L/S = 50/50μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
-
L/S = 40/40μm
-
L/S = 8/8μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
-
L/S = 7/7μm
-
8μm line
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
-
7μm line
-
SRO = 80μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
-
SRO = 40μm
新機種具備Design Matching功能, 具有符合高精度位置要求的能力
Can be used even if it is not a Point symmetric figure and Any pattern can be used as an alignment mark.
可隨意變換光量的3波長LED光源
3波長LED光源
3波長光量可自由調整控制
3波長LED光源
透過調整3波長光量可應對SR開口的需求
多種模式對位方法
對位功能
-
マーク撮影時に
ステージを止めない
-
ステージの往路・復路で
マークを撮像する
-
隣りのマークもカメラ視野に
入れる場合一度に撮像
攝影範圍同時收錄相隣對位靶點, 讓對位流程更高速完成
對位功能
-
Global
Rectangle
-
Multiple points & Whole area
Linear
Curvw
-
Mark sharing
Sharing alignment mark
-
Multiple points & Individual area
Rectangle
Linear
應用各式運算法則以實現基板對位最佳化
自動對焦功能
自動對焦功能與板彎翹之對應
- Auto-focus
- Mechanical clamping unit
- Auto switching for suction area
俱備自動對焦功能, 以及選購配件, 對應板彎翹
自動校正功能
- Start
- Change over time
- After calibration
*Calibrate the alignment camera in the same way
無需停機即可實現精確的圖像化
自動化的對應
條碼對應
-
Single side auto type
-
Double side auto type
Traceability control
Compatible with various barcodes
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1D code
-
2D code
實現全段製程高度的追蹤管理
2維條碼印刷功能
二維條碼不僅可印刷於整片基板，還可以應用於每個單片基板
自動校正功能
The idea of automation ...
Necessary information for automation
Job data and linked Recipe
Production info linked to the board
曝光成像製程自動化, 實現減化程序