Ledia Twin은 최강 다이렉트 이미징 !
이 품질로 세계 최고 속도 !
파장LED광원 source SRO = Φ60 μm L / S = 30/30 μm 위치정도+-10um
트윈스테이지
2대를 연결하여, 한 대에서 앞면을 연속 노광 + 다른 한 대에서 뒷면을 연속 노광 하는 것이 가능
1대에서, 앞면 / 뒷면 어디든 노광 가능
생산성 비교
*Board size is 21inch(X) * 18inch(Y)
*Alignment marks : 4 points as 6.4 seconds
*Calibration not included
The productivity is subject to change without notice.
복수면 동시 노광
복수면 세팅 시간도 트윈스테이지라면 효율적
2sheets left and right
4sheets left and right
컴팩트한 풋프린트로 앞뒤 구성
Front and back lines can be
installed in this space
자동화시스템
기구소개
DMD와 UV-LED(365+385+405 nm)의 3 파장으로 구성된 헤드 유닛
Ledia 6과 같이, 최대 6 헤드를 탑재
3 파장을 1 mJ단위로 자유롭게 조작해, 어떤 레지스터에도 적합한 노광 조건을 실현
높은 위치 정도를 실현
여러가지 묘화 데이터 보정을 갖추고 있어, 측정 결과에 추종
특정의 기판에서는 복수매를 스테이지에 두고 한 번에 노광 가능
기판의 높이에 맞춰, 포커스 위치를 항상 최적화
스루홀에는 추종 하는 일 없이 사용 가능
스테이지를 일시정지시키는 일 없이, 리얼타임으로 보정
얼라이먼트 카메라, 노광 헤드 등을 정기적으로 calibration 실시.
위치 맞춤을 실시해, 정확한 패터닝을 실현합니다.