直接成像設備

Ledia Twin是最強大的直接成像!
堪稱世界最快的成像品質!
3波長LED光源SRO =Φ60μmL / S = 30/30μm對位精度±10μm

Twin Stage

2台設備連接為上下流段,達到連續曝光的需求

正面和背面均可通過一台曝光

生產效率比較

Optical head unit

同時多面曝光

通過Twin Stage,您可以有效地設定多面曝光

Optical head unit
Optical head unit

佔地面積小,即可配置上下流段

Optical head unit

自動化系統

Optical head unit

機構介紹

Optical head unit

曝光頭由3種波長的DMD和UV-LED(365 + 385 + 405nm)組成

配備多達6個曝光頭,例如Ledia 6

3波長以1mJ為單位進行任意調整能階,實現適用所有光阻劑的曝光條件

Alignment unit

高度精準的對位精度

各種描繪要求的補正,檢測結果並且可持續追蹤

可在枱面上對特定板子進行一次多片曝光

Auto focus unit

因應板翹, 對焦最適化

不需追蹤通孔亦可運作

即時校正,不需停止枱面

Calibration unit

即時校正,不需停止枱面

實行對位, 以實現精確的線路