LediaTwinは最強ダイレクトイメージング！
この品質で世界最速！
3波長LED光源
SRO=Φ60μm L/S＝30/30μm
位置精度±10μm
ツインステージ
2台連結することで、1台で表面を連続露光＋１台で裏面連続露光することが可能
１台で、表面・裏面のどちらも露光可能
生産性比較
*Board size is 21inch(X) * 18inch(Y)
*Alignment marks : 4 points as 6.4 seconds
*Calibration not included
The productivity is subject to change without notice.
複数面同時露光
複数面セット時間もツインステージなら効率的
2sheets left and right
4sheets left and right
コンパクトなフットプリントで表裏構成
裏表ラインがこのスペースで
自動化システム
機構紹介
DMDとUV-LED（365+385+405nm）の3波長で構成されたヘッドユニット
Ledia 6と同じく、最大6ヘッドを搭載
3波長を1mJ単位で自由に操り、どんなレジストにも適した露光条件を実現
高い位置合わせ精度を実現
様々な描画データ補正をもち、測定結果に追従
特定の基板では複数枚をステージにおいて一度に露光可能
基板の反りに追従し、フォーカス位置を常に最適化
スルーホールには追従することなく使用可能
ステージを一時停止させることなく、リアルタイムに補正
アライメントカメラ、露光ヘッドなどを定期的にキャリブレーション実施。
位置あわせを行い、正確なパターニングを実現します。