ディスプレー製造装置 液晶、有機ELなどの最新ディスプレーに対応した幅広いラインアップを展開 詳細へ
エネルギー分野向け製造装置 脱炭素社会に向けた新エネルギー分野に展開 詳細へ
半導体パッケージ分野向け製造装置 FOPLPなどの半導体先端パッケージに対応 詳細へ
真空成膜装置 独自のプラズマ源を採用し、超高速、高品質な真空成膜を実現 詳細へ
塗布・塗工、真空成膜装置と周辺プロセス装置をコンパクトな実験・評価用装置に展開しました。 量産装置と同様のプロセスが可能なため、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能です。 高精度な設備を手軽にラボからご導入いただけます。
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ディスプレー製造装置および成膜装置事業の保守サービス(修理・OH・部品) 装置改造及び製品の開発・設計・製造・販売
台湾におけるディスプレー製造装置およびエネルギー分野向け製造装置事業などのカスタマーサポート
韓国におけるディスプレー製造装置及びエネルギー分野向け製造装置事業などのカスタマーサポート
プラズマ源およびプラズマシステムの開発・製造・販売