塗布・塗工、真空成膜装置と周辺プロセス装置をコンパクトな実験・評価用装置に展開しました。

量産装置と同様のプロセスが可能なため、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能です。
高精度な設備を手軽にラボからご導入いただけます。

 

 

塗布・塗工

真空成膜

乾燥・焼成

露光