実験・評価用装置のご案内
塗布・塗工、真空成膜装置と周辺プロセス装置をコンパクトな実験・評価用装置に展開しました。
量産装置と同様のプロセスが可能なため、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能です。
高精度な設備を手軽にラボからご導入いただけます。
塗布・塗工

リサーチコータ LC-R300G/400G

RT-Rシリーズ
真空成膜

VC-R400G/F

VS-R400G/F
乾燥・焼成

VA-R400G
露光

MA-1000シリーズ
塗布・塗工、真空成膜装置と周辺プロセス装置をコンパクトな実験・評価用装置に展開しました。
量産装置と同様のプロセスが可能なため、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能です。
高精度な設備を手軽にラボからご導入いただけます。