factory.png塗布・塗工、真空成膜装置と周辺プロセス装置をコンパクトな実験・評価用装置に展開しました。

量産装置と同様のプロセスが可能なため、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能です。
高精度な設備を手軽にラボからご導入いただけます。

 

 

塗布・塗工

スリットコータ(ダイコータ)
リサーチコータ LC-R300G/400G
ロールtoロール塗工乾燥装置
RT-Rシリーズ

真空成膜

プラズマCVD装置
VC-R400G/F
スパッタ装置
VS-R400G/F

乾燥・焼成

減圧乾燥装置
VA-R400G

露光

手動式露光装置
MA-1000シリーズ