実験・評価用装置のご案内
塗布・塗工、真空成膜装置と周辺プロセス装置をコンパクトな実験・評価用装置に展開しました。
量産装置と同様のプロセスが可能なため、生産機検討を視野に入れた実験・評価が可能です。
高精度な設備を手軽にラボからご導入いただけます。
塗布・塗工
リサーチコータ LC-R300G/400G
RT-Rシリーズ
真空成膜
VC-R400G/F
VS-R400G/F
乾燥・焼成
VA-R400G
露光
MA-1000シリーズ