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EVENT

SEMICON Japan 2015

2015年12月14日

SEMICON Japan 2015 出展のご案内

拝啓 時下ますますご健勝のこととお慶び申しあげます。
私ども(株)SCREENセミコンダクターソリューションズは、「SEMICON Japan 2015」に出展いたします。
会場では、主力の洗浄装置をはじめ、コータ・デベロッパ、熱処理装置、膜厚測定装置、グリーンデバイス市場向けの『Frontier Project』製品群など幅広い分野の最新装置をご紹介します。
この機会にぜひ弊社ブースにお越しいただき、最先端テクノロジーをご覧ください。
これからも私どもは、顧客志向で新たなチャレンジを続けてまいります。
今後とも末永くよろしくお願いいたします。    

出展内容

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
洗浄装置
枚葉式洗浄装置 SU-3200
スピンスクラバ SS-3200
ウェットステーション FC-3100
     
レジスト塗布・現像装置
コータ・デベロッパ DT-3000
コータ・デベロッパ RF-310A
コータ・デベロッパ SK-60EX/80EX
熱処理装置
フラッシュランプアニール装置  LA-3000-F   
レーザーアニール装置 LT-3000/3100  
     
     
     
膜厚測定装置
エリプソ式膜厚測定装置 REシリーズ
光干渉式膜厚測定装置 VMシリーズ
     
     
     
FRONTIERプロジェクト   
枚葉式洗浄装置 SU-2000
スピンスクラバ SS-80EX  
コンパクトウェットステーション CW-1500
スプレーコータ SC-80EX  
パターン付きウェーハ外観検査装置  ZI-2000  
半導体後工程用 直接描画装置 DW-3000  
    株式会社 SEBACS
    株式会社 テックコミュニケーションズ