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コータ・デベロッパ
RF-310A
幅広いニーズにフレキシブル対応
RF-310Aは、Reliable・Fast・Fine・Flexibleをコンセプトに、高い信頼性、優れた拡張性で定評のあるRF-300Aプラットフォームをもとに、高生産性を可能にした180WPHスループットモデルです。ドライプロセスから液浸プロセスまで幅広いニーズに対応するとともに、各種独自技術により高いパフォーマンスを実現します。
特長
高信頼性
ハードウエア・ソフトウエアをシンプルにすることで高い信頼性を実現。
高生産性
プロセス処理を考慮した高スループットを実現。
微細化プロセス対応
先端微細化プロセスに対応する最新のテクノロジーを搭載。
柔軟性・拡張性
優れた柔軟性・拡張性を持つCELL構造を採用し、フレキシブルな装置構成、短納期・短期立ち上げを実現。
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
ポリマ除去
