幅広いニーズにフレキシブル対応
RF-310Aは、Reliable・Fast・Fine・Flexibleをコンセプトに、高い信頼性、優れた拡張性で定評のあるRF-300Aプラットフォームをもとに、高生産性を可能にした180WPHスループットモデルです。ドライプロセスから液浸プロセスまで幅広いニーズに対応するとともに、各種独自技術により高いパフォーマンスを実現します。
ハードウエア・ソフトウエアをシンプルにすることで高い信頼性を実現。
プロセス処理を考慮した高スループットを実現。
先端微細化プロセスに対応する最新のテクノロジーを搭載。
優れた柔軟性・拡張性を持つCELL構造を採用し、フレキシブルな装置構成、短納期・短期立ち上げを実現。
ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)
ポリマ除去