本裝置融合了搭載獨家GLVTM光學引擎的成像雷射頭,以及透過運用獨家技術的光學系統進行雷射控制的技術。在量產型直接成像曝光裝置的領域中,擁有世界最高水準的5/5μm解析度。支援今後越來越精密的先進封裝成像。
高速量產
本裝置搭載可靠的多雷射頭系統,並採用以480mm/sec移動的高速平台。以掃描方式讀取校準記號,達到不受掃描方向的校準記號數量影響的高流通性(亦可因應自動化)。以L/S =5/5μm的解析度,達到每小時100片(基板尺寸510x515mm)的產能。
光源採用雷射二極體,運作成本只有本公司裝置(DW-6000)的1/3。
利用阻隔發塵源,以及在半導體洗淨技術方面擁有實績的氣流控制技術,達到抑制裝置內的發塵並提高良率。
本產品由 SCREEN HD 處理。