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MIYABI ビア検査装置/パターン外観検査装置 カタログ rin

LVH検査に
欲しいもの、すべて。

業界最速の検査スループット*はどんな使い方でも最高のパフォーマンス

*2022年4月時点 当社調べ

抜き取り検査に

抜き取り検査を最大限に合理化できるのは、業界最速のMIYABIだから。検査未 実施からの新規導入、顕微鏡確認からの置き換え、既存AOIをはじめとする自動 検査設備からの乗り換えなど、あらゆるケースでメリットを感じていただけます。

全数検査にも

LVHデザインの微細化に伴い、その致命欠陥の発生リスクからクライアントの目 が厳格化しており、全数検査の要求が増加してきています。この要求に無理なく 応えられるのも、業界最速のMIYABIだけです。

業界最速の検査スループット

様々な材料・プロセスに適合するから将来にわたって長く活躍

検査対象の状態を選ばない、多角ラインドーム照明系と3種のLED光源を搭載。 材料の特性はもちろん、デスミア後、フラッシュエッチング後など、プロセスにも応じた最適な照明条件で検査が可能です。

様々な工法に対応

精密な測長検査で見つけたいものだけ見つける

独自開発のVMeT (Via Major-extraction Technology)* アルゴリズムによる精密な測長検査を、1スキャンで面内全ての ビアのトップ・ボトムそれぞれに対して行います。 ビアズレやスミア残りなどの検出はもちろん、高度なプロセスコントロールに求められるビアのトップ径、ボトム径や真円度の定 量的な管理を実現します。

1 設計データと撮像画像、各々の特徴点を抽出 し、独自技術により、正確なビア位置を認識。

2 ビア中心から全方位へ測長することにより、 ビアのトップとボトムのエッジを正確に認識。

3 エッジ周辺の情報から、より正確に輪郭形状 を認識し検査。

精密な測長検査で見つけたいものだけ見つける

突き抜け欠陥の検出にも効果を発揮

    欠陥品

  • ピア底銅貫通

    ピア底銅貫通

  • ピア底銅+下層絶縁材貫通

    ピア底銅+下層絶縁材貫通

    良品

  • 良品

     

*グレードX・S向け標準機能

ベリファイ作業も最高速へ、だから検査工程が業界最速

独自開発のFIT (Fluorescence-excited Image Technology)*1を搭載したベリファイユニットにより、ビア壁面の絶縁層が蛍光*2し、ビア内全体を照明することで、ビア底領域がくっきりと視認できます。欠陥相当か否か、一目で判断がつけられるほか、材料によっては異物の種類なども見分けがつき、顕微鏡へ移し替えての再確認を省くことも可能です。

ベリファイ作業

色の違いからスミアと異物の識別が可能なケースも

ベリファイ作業

*1 グレードX・S向けオプション機能
*2 蛍光の程度については材料により差がありますので、事前評価でご確認ください

多彩な検出ロジック / 感度設定

  • hole diameter 穴径範囲

    Hole diameter
    穴径範囲

  • hole difference 穴ズレ

    Hole difference
    穴ズレ

  • Minimum diameter 最小径

    Minimum diameter
    最小径

  • Maximum diameter 最大径

    Maximum diameter
    最大径

  • Bottom minimum diameter ボトム最小径

    Bottom minimum diameter
    ボトム最小径

  • Bottom maximum diameter ボトム最大径

    Bottom maximum diameter
    ボトム最大径

  • Land nick ランド切れ

    Land nick
    ランド切れ

  • Foreign material 異物残り

    Foreign material
    異物残り

  • Hole nick 穴欠け

    Hole nick
    穴欠け

  • Hole protrusion 穴突起

    Hole protrusion
    穴突起

  • Actual roundness 真円度

    Actual roundness
    真円度

  • Missing hole ミッシングホール

    Missing hole
    ミッシングホール

分析機能を完備しているから、報告に費やす時間を他の仕事へ

独自開発の分析ツールソフトウェアにより、検査と同時に、タクトへの影響なく分析まで完結。
分析結果はCSVだけでなく、印刷用画像の出力も可能なため、そのままレポートとしても活用いただけます。

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欠陥集計・解析で歩留まり向上

工程改善と品質向上を強力にサポートする欠陥集計ソフトウェア
エントリーパックを標準バンドル、欠陥画像付き報告書の作成をサポート

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