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MIYABI ビア検査装置/パターン外観検査装置 カタログ rin

在LVH 检查中
满足您所有需求。

业界最快的* 检测产能,不论在何种用途上都有最佳的性能表现

*根据我们截至2022年4月的调查

用于抽样检测

可以把抽样检测最大限度合理化、因为这是业界最快的MIYABI。比如从本来不做检查变为导入新机检测、或如从使用显微镜确认作业变为设备检测、又如将现有AOI自动检查设备进行升级换代等等,在所有的情况下您都可以感受到其物有所值。

也可进行100% 检查

随着镭射孔设计的小型化,由于致命缺陷发生的风险让客户的标准变得更加严格,
对全数检测的需求越来越大。只有业界最快的MIYABI才能合理满足这一需求。

the fastest in the industry

适用于各种材料和制程,因此能在将来长期活跃

配备多角度直条拱形照明与三种类型的LED光源,无论检测对象什么状态下都能够进行检测。
不仅可以适应材料的特性、还能够根据除胶后、蚀刻后等制程的特点,提供最佳的照明条件进行检查。

Applied for various materials and processes

通过精确的长度测量检查只检出您想要确认的缺陷

独自开发的VMeT(Via Major-extraction Technology)* 透过演算法进行精确长度测量检查,整面基板内所有的镭射孔上孔、孔底能在一次扫描中完成。
不仅可以检测镭射孔偏移和残胶异物,还可以实现先进制程控制所需的镭射孔上孔径、下孔径和真圆度的定量管理。

1 透过提取设计资料与摄像图像及各个特征点,以独创技术来识别准确的镭射孔位置。

2 通过由镭射孔中心往各个方向的长度量测,能准确地识别镭射孔的上孔及孔底的边缘。

3 从边缘周围的情报中能更准确地识别轮廓形状来检查。

Find only what you want to find by using precise length measurement inspection

检测击穿缺点也很有效

    缺陷品

  • Defective

    镭射孔底铜穿透

  • Defective

    镭射孔底铜+下层绝缘材料穿透

    良品

  • Good

     

* X / S级标准功能

验证作业也是最快的,所以在检查工程是业界最快的

搭载独自开发的FIT(FluorescenceexcitedImageTechnology)*1 验证单元,可让镭射孔壁面的绝缘层发出荧光*2 ,并且因为能够照亮整个镭射孔,孔底的状况可以清晰的辨识出来。 除了可以一目了然的判断是否为缺点,还可以依据材料来分辨异物的种类,省下改由显微镜来做再次确认的功夫。

Verification work

在某些情况下,残胶和异物可以从颜色的差异中识别出来。

Verification work

*1 X / S 级的选配功能
*2 荧光程度会因材料而异,因此请事先进行确认。

Various detection logic / sensitivity settings

  • hole diameter

    Hole diameter

  • hole difference

    Hole difference

  • Minimum diameter

    Minimum diameter

  • Maximum diameter

    Maximum diameter

  • Bottom minimum diameter

    Bottom minimum diameter

  • Bottom maximum diameter

    Bottom maximum diameter

  • Land nick

    Land nick

  • Foreign material

    Foreign material

  • Hole nick

    Hole nick

  • Hole protrusion

    Hole protrusion

  • Actual roundness

    Actual roundness

  • Missing hole

    Missing hole

因为有完备的分析功能,可以把花费在报告上的时间用于其他工作上

  • 镭射孔径分析

    Via hole diameter analysis
  • Via hole diameter analysis
  • 真圆度分析s

    Roundness analysis
  • 镭射孔偏移分析

    Via hole shift analysis
arrow
  • 分析报告输出范例

    Analysis report output example

使用缺陷统计软件协助实现制程改善

缺点图片数据可在PC电脑上储存,并且能够按照批号或日期时间来查看。
有助于支持制作附带图像的报告、通过不良件的管理确保可追溯性、提高成品良率的倾向分析等等。

Entry pack as standard bundle

入门款做为标准功能搭配

Defect counting software supports process improvement