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LEDIA6 直接描画装置 catalog カタログ rin

世界最先端のテクノロジーが、
ひとつ上の未来を描く。

ハイパワーモデル新登場「Ledia 6H」

Lediaの光源ユニットを最適化し、ハイパワー化した「Ledia 6H」。
現行のノーマルパワー光源との比較で最大25%の生産性向上を実現しました。
※使用する感光材料の種類、プロセス条件によります。

最大25%の生産性向上 Maximum improvement 25%

レジスト種を選ばず最適な露光

パワフルで広帯域な3波長UV-LED光源を搭載。DI用高感度レジストは
もちろんのこと、汎用ドライフィルムレジストやソルダーレジストまで、
種類を選ばず最適な露光結果が得られます。

レジスト種を選ばず最適な露光
  • ソルダーレジスト
  • 汎用ドライフィルム
    レジスト
  • 高感度・DI用
    ドライフィルムレジスト

最高水準の描画品質

すぐれた解像力を誇るLedia6/6H。パッケージ基板やモジュール基板など、
より高精細・高付加価値の分野で、極めて高い描画品質をご提供します。

  • L/S 12/12µm

    L/S 12/12µm
    (ファインモデル)

  • L/S 30/30µm

    L/S 30/30µm
    (スタンダードモデル)

  • 真円度分析

    ソルダーレジスト最少開口寸法
    ・スタンダードモデル: φ60µm
    ・ファインモデル: φ40µm