Lediaの光源ユニットを最適化し、ハイパワー化した「Ledia 6H」。
現行のノーマルパワー光源との比較で最大25%の生産性向上を実現しました。
※使用する感光材料の種類、プロセス条件によります。
パワフルで広帯域な3波長UV-LED光源を搭載。DI用高感度レジストは
もちろんのこと、汎用ドライフィルムレジストやソルダーレジストまで、
種類を選ばず最適な露光結果が得られます。
すぐれた解像力を誇るLedia6/6H。パッケージ基板やモジュール基板など、
より高精細・高付加価値の分野で、極めて高い描画品質をご提供します。
L/S 12/12µm
(ファインモデル)
L/S 30/30µm
(スタンダードモデル)
ソルダーレジスト最少開口寸法
・スタンダードモデル: φ60µm
・ファインモデル: φ40µm