優化Ledia的光源並使其具有高功率的" Ledia 6H"
與目前的普通電源光源相比,我們的生產率提高了25%
*取決於所用感光材料的類型和處理條件
配備強大的寬3波長UV-LED光源。
無論使用哪種類型,都可以獲得最佳的曝光結果,
不僅用於DI的高感度光阻劑,而且還用於通用乾膜光阻劑和防焊光阻劑
Ledia 6 / 6H具備高解析度。
我們在package和madule等高解析度和高附加值領域提供極高的成像品質
L/S 12/12µm
(Fine line model)
L/S 30/30µm
(Standard mopdel)
Minimum dimensions of solder resist opening
・Standard model φ60µm
・Fine line model: φ40µm