株式会社SCREENファインテックソリューションズ（以下、SCREEN FT）はこのほど、独自のLIAプラズマ真空成膜技術^※1を応用し、さまざまな素材への防傷や防汚、装飾加工など、新たな価値を付加する高機能膜の成膜技術を確立。この技術を搭載した装置を製品化し、2020年の東京五輪開催に向けて需要の高まりが期待される建材分野をはじめとする、新たな市場に応用していきます。

SCREEN FTは、SCREENグループの持つコア技術の一つである表面処理技術を駆使し、主に液晶パネル用のガラス表面に感光材料を成膜するフラットパネルディスプレー製造装置を手掛けています。また、コーターデベロッパーで世界シェア約8割を誇る同事業をベースに、成膜技術を応用した新規ビジネスの創出にも注力し、リチウムイオンバッテリーや燃料電池などのエネルギー分野をはじめ、さまざまな市場の課題解決に貢献する活動を展開。2011年からは、LIAプラズマ真空成膜技術を系列グループの株式会社イー・エム・ディーと共同開発し、応用可能な市場を模索してきました。

今回製品化した真空スパッタリング装置「VSシリーズ」は、多彩な素材への色や模様の加飾の他、防傷・防汚効果を持つ機能性膜を高品質かつ高速に成膜する装置です。多種多様な材料を大面積に成膜できるため、建築物の内装などに使用される鋼板の加飾加工^※2や、硬度と透明度が高いアルミナ膜によるポリカーボネートなどへの防傷加工^※3が可能。また、真空CVD装置「VCシリーズ」は、従来のCVD技術とイオン注入技術を融合させ、硬度が高く摩擦が少ないダイヤモンドライクカーボン（DLC）の均一な成膜を可能にした装置です。なおDLCは、防汚性、ガスバリア性、生体親和性などにも優れているため、さまざまな素材や部品への活用が期待されています。

当社は、LIAプラズマ真空成膜技術を搭載した「VSシリーズ」「VCシリーズ」の販売を開始し、建材分野をはじめとする新たな市場への販路を強化するとともに、今後は車載品市場も視野に入れ、事業領域のさらなる拡大を図ります。そして、当社のコアコンピタンスを通じて顧客のニーズに応え、多様な分野の課題解決に貢献していきます。

※1　特殊構造の小さなアンテナを使い、均一で高密度なプラズマを発生させ、基板にダメージを与えることなく成膜する技術。
※2　ステンレスの表面に、高級感のある金色やブロンズ色の窒化チタン被膜を均一に成膜することが可能。従来の成膜方法では困難とされていた安定した色再現を実現できる。
※3　アルミナ膜は、アルミと酸素の化学反応によって成膜される。硬度や透過率の高さに加え、屈折率が低いため、下地の色を保ったまま防傷膜として使用でき、ポリカーボネートなどに成膜することで、ガラスや強化プラスチックに代わる材料として活用できる

＊　これらの装置は、2016年3月8日（火）から11日（金）まで東京・有明の東京ビッグサイトで開催される「第22回 建築・建材展 2016」でご紹介します。

• この記事のPDF