コータ・デベロッパ SK-EHシリーズ

タッチセンサパネル工程用

Levicoater™ series E series

有機EL（OLED）用タッチセンサーパネル（TSP）製造工程用のコータ・デベロッパ。線幅／線間隔（L/S）1.2μmプロセスに対応しながら、業界トップクラスの生産性を実現。
第8世代までのガラス基板に対応し、IT機器用ディスプレーや車載ディスプレー等の大型化と、生産性向上に貢献します。

特長

TFT量産に適した高生産性。
洗浄・現像・塗布・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮。
線幅／線間隔（L/S）1.2μmプロセスに対応するため、以下の技術を確立。
・ミニエンバイロメント構造によるパーティクル抑制
・導電部材、浮上搬送の採用や、イオナイザの最適配置によるESD抑制
・塗布部には浮上搬送方式のスリット式塗布装置「レビコータ^TM」を搭載
塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化、業界随一の連続稼動を実現。
スリット式塗布装置「レビコータ^TM」は2ノズル搭載可能なので、有機EL製造プロセスで必要な複数のレジストに対応。
SK-E2200Hは第8世代ハーフ基板の2枚同時処理、SK-E1500Hは第6世代ハーフ基板の2枚同時処理が可能。
省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます。
資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいディスプレー作りを支えます。

※Levicoater、レビコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。