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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、水管理の可視化を実現するFTD solutions社の水管理アプリケーション（WMA）の初期評価を完了しました。これは、昨年10月に彦根事業所内のプロセス技術センターに導入したアプリケーションです。今後は彦根事業所全体へ展開し、環境負荷低減に関する先進的な取り組みを加速していきます。

カーボンニュートラルを目指す社会において、環境汚染や環境負荷を減らす取り組みはいまや必要不可欠となっています。また、IRDS（国際デバイスシステムロードマップ）においても、水とエネルギーは相互に影響を与える関係であり、水の管理は重要なテーマとなっています。当社が開発・製造を行う半導体洗浄装置においても、デバイスの微細化による工程数の増加により、純水の使用量は増加傾向にあります。そのため、水のリユース、リサイクル技術は、重視すべき開発テーマとなっています。

そのような背景から、当社は2023年10月、開発拠点である彦根事業所内のプロセス技術センターにおいて、FTD solutions社のWMAを導入。洗浄装置やコータ・デベロッパの開発装置を含め、クリーンルーム全体における水の流れをアプリケーション上で可視化することにより、純水・薬液の使用量、排水、排液の見える化の初期評価が完了しました。今後は、彦根事業所全体での取り組みとすべく、水管理の環境整備・強化、節水活動を戦略的に行っていきます。

当社は、今後もサステナビリティ開発を加速させ、環境性能の高い装置を業界に提供していきます。こうした活動によって、持続可能な社会の実現に貢献していきます。

 

プロセス技術センターで行った初期評価の内容
■ ベースラインとなる、水モデルの開発
■ 水の需要と保全に関する状況把握
■ 水の保全と持続可能性に関するKPIの調整
■ 設備レベルでの事業所施設水管理への影響調査

 

今後の取り組み（一例）
■ 彦根事業所内の別施設へのWMAの展開
■ 他事業所に適用可能な水管理基準の構築
■ 将来のサステナビリティ活動を見越した水モデルの開発とKPI監視等の環境整備
■ 水の再生、削減に向けた取り組みの戦略立案

 

関連ニュースレター：　https://www.screen.co.jp/spe/information/spe20231005

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Tel: 075-417-2527
screenspe-info@screen.co.jp

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