株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、高生産性と省フットプリントの両立を実現した、次世代パワーデバイス向けコータ・デベロッパ「RF-200EX」「RF-300EX」を開発。2023年11月から販売を開始します。

 

近年、EV・自動運転などの車載関連や、電力制御用途の産業機器を中心に搭載される、次世代パワーデバイスへの需要が高まっています。一方、環境意識の高まりを受け、装置の稼働時における省エネルギー化、薬液使用量の削減など、製造工程における環境負荷の低減が、半導体業界全体に共通する課題となっています。

このような動向を背景に当社は、コータ・デベロッパ「RF-200EX（150／200mm対応）」、「RF-300EX（300mm対応）」を開発しました。両装置は、当社が長年培ってきた塗布・現像装置のノウハウを継承し、高い生産性と省フットプリントの両立を実現。また、ウェーハへの塗布処理時におけるレジスト消費量の大幅な削減、装置の稼働時における消費電力低減など、環境に配慮した装置となっています。加えて「RF-200EX」は、さまざまな製造プロセスや多様な薬液にフレキシブルに対応できます。「RF-300EX」は、標準から薄型まで幅広いウェーハに対応するとともに、ポリイミドなどの厚膜塗布にも対応するなど、柔軟性の高い装置となっています。

当社は、今回の「RF-200EX」「RF-300EX」の開発により、多様化する次世代パワーデバイスの安定生産に寄与します。今後も環境に配慮した装置のニーズに応えるとともに、半導体デバイスのさらなる発展に貢献していきます。

本件についてのお問い合わせ先：

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
マーケティング部
TEL:075-417-2527

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