株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズはこのたび、サステナビリティ開発を加速するため、水管理の可視化を実現するFTD solutions社の水管理アプリケーション（WMA）を導入しました。水を扱う半導体洗浄装置グローバルシェアNo.1^※企業として、環境負荷低減に関する先進的な取り組みを加速していきます。

カーボンニュートラルを目指す社会において、環境汚染や環境負荷を減らす取り組みはいまや必要不可欠となっています。また、IRDS（国際デバイスシステムロードマップ）においても、水とエネルギーは相互に依存する関係であり、水の管理は重要なテーマとなっています。当社が開発・製造を行う半導体洗浄装置においても、デバイスの微細化による工程数の増加により、純水の使用量は増加傾向にあります。そのため、水のリユース、リサイクル技術は、重視すべき開発テーマとなっています。

そのような背景を受け、当社はFTD solutions社のWMAを導入しました。開発拠点である彦根事業所内のプロセステクノロジーセンターにおいて、洗浄装置やコータ・デベロッパの開発装置を含め、クリーンルーム全体における水の流れをアプリケーション上で可視化することにより、純水・薬液の使用量、排水、排液の見える化と、その低減に直接的に貢献します。また、半導体製造装置のサステナビリティに関するパフォーマンスをFabレベルで取り組むことにより、顧客に提供するベースデータとなり、今後顧客の工場内における水管理の最適化に役立てられることが期待できます。

当社は、今後もサステナビリティ開発を加速させ、環境性能の高い装置を業界に提供していきます。そして、さらなる地球温暖化対策を実施し、持続可能な社会の実現に貢献していきます。

※ 当社調べ
 

■ FTD solutions社について
https://www.ftdsolutions.net/

本件についてのお問い合わせ先：

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
マーケティング部
TEL:075-417-2527

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