株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、このたびナノエレクトロニクスとデジタル技術における世界有数の研究・イノベーション拠点であるimec（Interuniversity Microelectronics Centre）とサステナブルな技術開発を行うため、共同開発契約を更新しました。今回の合意により、当社のウエハー洗浄技術をはじめとした専門的知見と、imecが有する先端半導体技術との相乗効果によって、持続可能な社会に貢献する技術開発を推進します。

半導体業界では、微細化・積層化・チップレット化が進展し、高度な半導体製造プロセスの必要性が一層高まっています。そこで、コア技術の確立、品質の向上、コスト削減など、一社ではなし得ない技術開発を、先端顧客、国内外研究機関、異業種との連携や、産官学連携などコラボレーションを通して行うことがさらに重要となってきています。

当社は2002年1月からimecのIIAP (imec Industrial Affiliation Program)に参加して以降、20年以上にわたり共同開発を継続実施し、その範囲を拡大してきました。さらに2022年5月からは、imecが進める半導体業界全体の環境負荷低減に関する新たな研究プログラム「SSTS^※」にも参画しています。今回の共同開発は、幅広い開発プログラムを持つimecと、洗浄装置やコーターデベロッパーを中心とした半導体製造装置のコンセプトや実現可能性を検証し、プロセス開発を加速させます。また、SSTSプログラムを活用した当社のサステナビリティ活動の拡大、半導体エコシステムにおけるimecのネットワークを通じたコラボレーションの活性化を目指すものです。2023年に当社の枚葉式洗浄装置「SU-3200」をimecに納入し、技術者を派遣するなど、imecと共同評価を行います。

当社は、imecとの協業により、半導体業界の技術開発の進化と、デバイスメーカーの付加価値を最大化するソリューションを提供し続けていきます。また、環境性能の高い装置を半導体業界へ提供し、サステナブルな社会の実現に貢献していきます。

※　SSTS（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems）
imecが持つインフラ、技術、装置における知見を活用し、確立された信頼性の高いモデルと、カーボンフットプリントの詳細な分析技術を用いて、半導体製造工程が環境に与える影響を予測することにより、半導体バリューチェーン全体の環境負荷低減を支援する取り組み。詳しくはこちら

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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
マーケティング部
Tel: 075-417-2527　screenspe-info@screen.co.jp

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