株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、次世代パワーデバイスやCIS^※1、MEMSなどのパターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3600」を開発。11月から販売を開始します。

ZI-3600

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報道用写真データ

近年、温室効果ガスの排出量を“実質ゼロ”にする「カーボンニュートラル」の実現に向けて、電気自動車や省エネ家電をはじめとするエネルギー効率に優れた製品の開発が加速。電力を効率的に制御するトランジスタやSiC^※2、GaN^※3などを使った次世代パワーデバイスへの需要が高まっています。また、Si（シリコン）においては、拡大する需要に応えるため、生産効率が高い300mm化が進められています。そのため、同デバイス用の製造装置には、省スペース設計に加え、生産デバイスのサイズ・種類・生産量への多様な適応力が求められています。

このような動向を背景に当社は、高生産性と高解像度を両立したパターン付き外観検査装置「ZI-3600」を開発しました。この装置は、100mm～300mmの幅広いサイズのウエハー外観検査に対応。独自開発の検査ヘッドと改良した高速画像処理エンジンにより、従来比約2倍^※4の実用処理能力を実現しています。加えて、解像度の異なる3種類の対物レンズを1つのヘッドに搭載することにより、レンズを最適な解像度に自動で切り替えながら検査を行うため、微細欠陥からマクロ欠陥までの幅広い検査を一台で対応できます。また、従来機種と同様にラインセンサーによる全面検査方式を採用しており、チップサイズや数量に依存することなく一定のスピードで検査が可能。製品の歩留まり向上および安定生産に大きく貢献します。

当社は、今回の「ZI-3600」の開発により、「ZIシリーズ」の高生産性と高解像度を実現し、次世代パワーデバイスやCIS、MEMSなどの安定生産に寄与します。今後もカーボンニュートラルの実現に向けた先端デバイスの省エネルギー化、高度化を実現するための研究開発を続け、半導体業界のさらなる発展に貢献していきます。
 

※1　CMOSイメージセンサー：CMOSセンサー技術を使用した低消費電力のイメージセンサー
※2　シリコンカーバイド：シリコン（Si）と炭素（C）で構成される化合物半導体材料
※3　窒化ガリウム：ガリウム（Ga）と窒素（N）で構成される化合物半導体材料
※4　「ZI-3500」との比較。パターン付き300mmウエハーを全面検査した場合

本件についてのお問い合わせ先：
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
マーケティング部
Tel: 075-417-2527　screenspe-info@screen.co.jp

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