2021年9月17日
Doc. No.: SPE210917J
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは2021年9月16日、株式会社産業タイムズ社の『電子デバイス産業新聞』が開催する「半導体・オブ・ザ・イヤー2021」の半導体製造装置部門において、昨年発売したスピンプロセッサ「SP-2100」が高く評価され、「優秀賞」を受賞しました。
今年で27回目を迎える「半導体・オブ・ザ・イヤー」は、株式会社産業タイムズ社が発行する『電子デバイス産業新聞』が毎年開催しているもので、開発の斬新性、量産体制の構築、社会に与えたインパクト、将来性などを基準に、同新聞の記者の投票によって受賞製品・技術が選定されます。
今回の受賞製品である「SP-2100」は、ウエハー搬送機構の見直しや処理タスクの分離などの工夫により、従来の8インチ対応枚葉式洗浄装置と比較して40%近くのコンパクト化を実現。さらに、アプリケーションに合わせた柔軟な装置構成が可能で、納入後の処理ウエハーサイズの変更およびそれに伴う改造も容易なことなどが評価され、「優秀賞」に選ばれました。
当社は、このような技術革新を絶え間なく推進することで、高度化や多様化、省エネルギー化を求める顧客ニーズに幅広く対応し、今後も半導体洗浄装置のリーディングカンパニーとして、半導体業界のさらなる発展に貢献していきます。
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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
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