階調補正検査でベリファイ視認性UP!SR下のパターン分離や欠陥検出力向上!
産業用基板検査の要望に応え、新検査ロジック“CMET”を開発。
新規品番セットアップ時、装置本体では基板のスキャンのみを行い、セットアップ(プリペア)・試し検査・検査閾値調整は別置きのAP-Stationで実施。装置の検査稼働率を大幅に向上できます。
ロット変更時の試し検査・虚報削減調整にもAP-Stationは活用できます。
基板画像スキャンからマスター生成までセットアップ作業が一括で自動設定できる「オートリペア」、テスト基板搬送を省略して繰り返しテストできる「試し検査」、さらに検査パラメーター調整をアシストする「オート虚報除去」などさまざまな機能を搭載したFP-9200。当社従来機と比べてさらに簡単・高速なセットアップを可能にしました。
良品基板搬送プリペア基板搬送検査パラメーター調整
ご要望にお応えして大サイズ基板にも対応!