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FP-9200 最終外観検査装置 カタログ rin

新たな検査機能搭載で
検出力アップと虚報の大幅低減を実現

欠陥検出力向上

階調補正検査でベリファイ視認性UP!SR下のパターン分離や欠陥検出力向上!

新検査ロジックを開発

産業用基板検査の要望に応え、新検査ロジック“CMET”を開発。

周囲の形状を元に、変化点を検出!
虚報なく検出可能に!

ミリ波レーダー基板検査

パッド周辺異物の安定検出に

パッドの境界をリアルタイムで認識できるので、境界ギリギリまで検査可能。

パッド周辺異物の安定検出に

BGAパッドの検査もお手のモノ

BGA部レーザビア深さ異常 BGA部パッド際異物

AP-Station搭載で装置稼働率が大幅にアップ

新規品番セットアップ時、装置本体では基板のスキャンのみを行い、セットアップ(プリペア)・試し検査・検査閾値調整は別置きのAP-Stationで実施。装置の検査稼働率を大幅に向上できます。
ロット変更時の試し検査・虚報削減調整にもAP-Stationは活用できます。

AP-Station搭載で装置稼働率が大幅にアップ

オートプリペア機能で簡単・高速セットアップ

セットアップもパラメーター調整も、簡単操作で自動設定

基板画像スキャンからマスター生成までセットアップ作業が一括で自動設定できる「オートリペア」、テスト基板搬送を省略して繰り返しテストできる「試し検査」、さらに検査パラメーター調整をアシストする「オート虚報除去」などさまざまな機能を搭載したFP-9200。当社従来機と比べてさらに簡単・高速なセットアップを可能にしました。

良品基板搬送プリペア基板搬送検査パラメーター調整

オートプリペア機能

ファイン機でも大サイズ基板対応

ご要望にお応えして大サイズ基板にも対応!

最高水準の描画品質 マイクロメートル写真