Gate to the Infinity
产品系列中，最佳的精度和稳定性
彻底优化结构设计，大幅度提升成像位置精度。
实现追求未来ICS需要的高水准性能和稳定性。
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01温度控制
结构上增加了冷却单元以优化设备内部的温度管理，此外对驱动部的冷却效率的进行改善并阻断向主机底座的热传导，从而提升成像位置的精度。
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02主机机台焕然一新
主体框架的结实度比以往的设备显著提升。更优化了曝光镜头和校准单元的位置关系，实现最佳的机台。
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03持续性校准
通过后台镜头校准，保持高生产效率同时，实现持续性高精度校准。
应对板翘
即使基板的种类发生改变，通过设备结构更新能处理板翘的问题，从而提供稳定的成像品质。
自动对焦
机械夹具（选配件）
自动切换吸附区（选配件）
对位处理
搭载多种对位的功能，以满足高精度提升的需求。
Design Matching功能（选配件）
扫描对位方式
矫正歪斜
每个区域
3波长
通过波长混合比率调整，将感光材料截面形状做到可控制。
自动化/应对HOST ONLINE（SECS/GEM）
HOST ONLINE（概念图）