枚葉式塗布装置マルチコータ LC-M550G

世界シェアNo.1のTFT アレイ用スリット式塗布装置「リニアコータ™」をパネルレベルパッケージ向けに展開しました。露光/TMAH現像等の処理装置とのインラインも可能です。

特長

  1. f048_1.jpg液体PR/液体PIDでの高度な膜厚均一性

  2. f048_2.jpg高精細プロセスに対応

  3. f048_3.jpg反り基板に対応

  4. f048_4.jpgコーター・デベロッパーシステムでの量産対応が可能
    露光/TMAH現像等の処理装置とインラインし、量産をサポートします。

基本仕様

 型番
LC-M550G
LC-M750G
 塗布方式
スリット塗布(ダイコーティング)
 対応薬液
めっきレジスト、感光性絶縁膜、PI、PBO, 仮接着剤、離形剤
 対応基材
ガラス、樹脂(フィルム、金属箔はご相談に応じます)
 対応基材サイズ
最大W515 x L510 mm
最大W600 x L600 mm

※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。

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