FPD業界で世界NO.1のシェアを持つSCREEN Finetechの現像機を含むWET装置を「Fan Out Panel Level Package」向けに展開。
ウェット処理装置（FOPLP向け）
高精細技術の展開 *ND Series (Developer)
反り基板対応 *All Wet Processor
- ≦10 mm反り基板の安定搬送が可能
- 1,000枚ランニング割れ無しを保証
基本仕様
| Panel | Glass, mold, CCL |
|---|---|
| Panel Size | ～W2,200×L2,500 mm, TBD |
| EQ configuration | I-Line / I-Turn / U-Turn |
| Processing method | Spray / Dip / Paddle |
| Chemical | Al / Mo / Cu / ITO Etchant TMAH / Na2CO3 Resist stripping agent DIW / Alkali Cleaner |
| Tact | TBD *depend on process condhitions |
SCREENフェバックスのサービス
製品・サービスに関するお問い合わせ
製品や各種サービスに関するお問い合わせは、電話またはフォームよりお問い合わせください。
電話でのお問い合わせ
TEL : 0749-24-8310 電話受付：9時から17時まで（土日祝を除く）