スリット式塗布装置

マルチコータLC-Mシリーズ(実験機)

スリット式塗布装置 マルチコータ LC-Mシリーズ(実験機)

ナノレベルの薄膜から厚膜まで各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能なスリット式塗布装置。

実験・少量生産に最適

自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、LD/ULDとのインターフェースも可能。各種プロセスに対応できるフレキシブル装置構成が可能なので、実験・少量生産に最適です。

高精度な塗布均一性を実現

ディスプレー用で世界シェアNo.1の用スリット式塗布装置「リニアコータTM」の塗布技術を継承し、高精度な塗布均一性を実現。

段取り替え不要で、複数品種の塗布が可能

異なる2種類の材料塗布に対応可能な、2ノズル仕様もラインアップ。

ご要望の膜厚・均一性を実現

多種多様の配管系統を準備できるので、ご要望の膜厚・均一性を実現します。

優れた膜厚均一性を実現

塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータTM」を搭載し、優れた膜厚均一性を実現

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試作から量産までのサポート体制

  1. 当社実験設備において、お客様のご要望に応じた基材、塗布材料、塗布条件に塗布評価、塗布テストを承っております。お気軽にご用命ください。
  2. 経験豊富なプロセスエンジニアが装置チューニングを全面的にサポートして、アンコーティングや塗布ムラのない、高い膜厚均一性を実現します。
  3. 「リニアコータTM」シリーズをはじめ、多彩なラインアップで量産展開をサポートします。関連製品情報はこちら
  4. 受託サービスについてもお問合せください。

基本仕様

塗布/塗工方式 スリットコータ(ダイコータ)
対応薬液 感光材料(レジスト)、感光性絶縁膜、PI(ポリイミド)
ペロブスカイト、インク、各種コーティング材料
(詳細はご相談ください)
対応基材 ガラス、樹脂基板、フィルム、金属箔
(その他、ご相談に応じます)
対応基材サイズ W300 x L300 mm以上

 

※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。

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