製品情報

あらゆる塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパクトなスリット式塗布装置。

ナノレベルの薄膜から厚膜まで各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能なスリット式塗布装置。

薬液塗布後の基材を減圧状態にして乾燥を促進させる小型減圧乾燥装置

基材下部から熱を与えることにより基材上部の塗布材料、水分等を均一に乾燥させる装置。

FPD業界で世界NO.1のシェアを持つSCREEN Finetechの現像機を含むWET装置を「Fan Out Panel Level Package」向けに展開。

洗浄装置の水洗タンク内で発生するバクテリアを短時間で除去。レジストコーティング前洗浄、成膜前洗浄、剥離装置、現像装置で効果的に殺菌します。

株式会社SCREENフェバックスは国内正規代理店です。