FD-SOI基板の量産化によるコスト効率の高い高性能半導体素子製造を可能に

• 業界リーダーの2社が共同で原子レベルの均一性基板を製造
• 世界市場の需要に応え、FD-SOIの生産性を最大化
• 世界トップ10に入いる装置メーカーが成長高まるFD-SOIエコシステムに参加

2015年7月13日、カリフォルニア州サンフランシスコ（SEMICON West 2015）─エレクトロニクスとエネルギー産業用高性能半導体関連材料の設計および製造にかかわる世界的リーダーであるSOITEC社（ユーロネクスト）と、半導体業界における洗浄装置のトップメーカーである株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、300mmの完全空乏型シリコン・オン・インシュレーター(FD-SOI)ウェーハ上で、±5オングストロームの原子レベルの均一性を実現する量産化プロセスを共同開発しました。SOI基板上のシリコン厚を原子レベルでコントロールすることにより、完全空乏化技術の鍵となるトランジスタ形状の制御を可能にします。この共同開発の成功は、FD-SOI半導体の生産性を最大限に高めるだけでなく、全世界のFD-SOIエコシステムの強化においてもさらなる一歩を示すものであります。

チャンネルシリコン層を均一に形成することにより、すべてのウェーハの表面上におけるFD-SOIデバイス性能の均一化が可能となります。FD-SOI技術は、埋め込み酸化薄膜上のシリコン極薄層を活用する技術で、ごくわずかなシリコン原子層の均一性を極めて厳しく管理します。これらの層は、最終的なトランジスタのチャンネル層を形成するため、原子レベルで平面である必要があります。

SOITEC社のスマート・カット技術TMと、SCREENのFD-SOIの製造に適した制御性とすぐれたコストパフォーマンスの実績と信頼性を有する枚葉洗浄処理装置を使用することで、極めて均一性の高いFD-SOIウェーハを安定的に製造することが可能となります。これにより、全世界の半導体市場におけるFD-SOI基板の需要に十分に応えられる生産量を供給できるようになります。FD-SOI基板は、モバイル、コンシューマー、自動車、ネットワークなど、コストが重要視される市場におけるプロセッサーとして高性能と省電力化に貢献します。

SOITEC社のデジタルエレクトロニクス事業部門の上席副社長であるクリストフ・マルヴィル氏は、「SCREENとの戦略的パートナーシップを結ぶことによって、大量生産に対して半導体メーカーが直面している課題である原子レベルの分解能を満たす超薄型FD-SOI基板の生産が可能となりました。FD-SOI基板製造において、SCREENからこのような手厚いサポートを得られたことを大変嬉しく思っており、今後も14nmのFD-SOIノード開発に対しても両社による継続的な取り組みがなされることを楽しみにしています。」と述べています。

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの最高技術責任者（CTO）であるオリヴィエ・ヴァテール氏は、「SCREENは、高度な技術的課題に応え、FD-SOI技術を高度な量産水準に引き上げたSOITEC社との共同開発を誇りに思います。当社の生産性の高い洗浄装置は、FD-SOIエコシステムに対応した最適な製品です。当社は業界のリーディングカンパニーとして、お客様の市場における成功に寄与する世界水準の製品を今後も提供し続けてまいります。」と述べています。

SCREENの枚葉式洗浄装置「SU-3200」は、高速洗浄性能と高安定処理性の最適なバランスで、業界最高水準の生産性を提供します。複数のプロセスチャンバーを有し、投入層厚、求められる表面状態、予測エッチモデルに基づいた専用レシピでウェーハを一枚ずつ処理します。主な特長として、高度なチャンバー間均一性、層厚の厳密なコントロール、欠陥や金属汚染の排除、多用途の薬液供給システムによる高生産性などがあります。

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズについて

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、SCREENホールディングスのグループ会社として設立されました。その前身である大日本スクリーン製造株式会社から、半導体製造装置事業をすべて継承しています。SCREENセミコンダクターソリューションズは、長年にわたり培われてきたエッチングやフォトリソグラフィーをコア技術として、ウェーハ洗浄装置、リソグラフィー装置やアニール装置など、さまざまな分野における半導体製造装置の製造を専門としたメーカーで、世界トップ10メーカーのうちの1社です。詳細については、以下のページをご覧ください。
https://www.screen.co.jp/spe/

SOITEC社について

SOITEC社（パリ・ユーロネクスト）は、高性能半導体関連製品の設計および製造における世界的リーダーです。SOITEC社は、独自の技術と半導体の専門知識でエレクトロニクスとエネルギー市場に貢献しています。世界中に3,600件の特許を有するSOITEC社の戦略は、高性能、エネルギー効率、コスト競争力など、顧客ニーズに応えるため、業界を揺るがす革新に基づいたものです。SOITEC社は、欧州や米国、アジアにおいて、製造施設、研究開発センター、および事業所を構えています。詳細については、www.soitec.com/をご参照ください。

本件についてのお問い合わせ先：

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
事業統轄部
TEL:075-417-2527
speinfo@screen.co.jp

インターナショナルメディアコンタクト
Camille Dufour
+33 (0)6 79 49 51 43
camille.dufour@soitec.com

IR
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steve.babureck@soitec.com

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