光学式外观检查装置 MIYABI 7

在安装在MIYABI 7上的新开发的照明装置中，可以选择3种类型的光源。甚至可以看到各种色的基板，并且可以获得良好的检查结果。
而且,配备了新开发LVH（激光通孔）专用逻辑。如孔径偏差或者通孔底部缺陷，LVH的顶部直径为60μm级,MIYABI7检测到孔检查中所有的异常。

特点

专用工作站“CU-9000”大幅升级！只需按照终端用户的指示书输入检查条件，即可自动设定为最佳条件。然后仅需执行选择方法和输入板厚这一简单操作，便可在大约15 分钟内完成操作。

自主设计的“多角线圆盖型光源”，不仅光通量均匀，而且通过所输入的扫描图像，对于过去难以保证图案部分和基材部分对比度的基板，也能以较强的对比度输入，从而获得良好的检查结果。

搭载了新开发的“Pad & Line Feature 检查功能”。使用分别独立的参数对每种PAD 宽、线宽进行长度测量检査，可高精度地检测出缺陷。

作为MIYABI 的特长，在亚像素级别的检测基础上，同时搭载新开发的镭射孔专用逻辑。不仅可以检测孔偏、孔径异常、破孔等缺陷。盲孔底部异常也可以高精度检出。可以同时完成贯通孔和顶部直径60um 级别的镭射孔，和线路的检测。

利用专门开发的分析工具软件，可对各基板进行各种分析。
不仅能输出CSV 格式的分析报告，还能输出打印用的图像，因此立即就能使用。