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SEMICON Japan 2015

SEMICON 2015 

SEMICON Japan 2015 出展のご案内

会期:2015年12月16日(水)~18日(金) 10:00~17:00

会場東京ビッグサイト 東展示棟

弊社ブース:ホール5 〔5445〕

拝啓 時下ますますご健勝のこととお慶び申しあげます。
私ども(株)SCREENセミコンダクターソリューションズは、「SEMICON Japan 2015」に出展いたします。
会場では、主力の洗浄装置をはじめ、コータ・デベロッパ、熱処理装置、膜厚測定装置、グリーンデバイス市場向けの『Frontier Project』製品群など幅広い分野の最新装置をご紹介します。
この機会にぜひ弊社ブースにお越しいただき、最先端テクノロジーをご覧ください。
これからも私どもは、顧客志向で新たなチャレンジを続けてまいります。
今後とも末永くよろしくお願いいたします。    

 

出展内容

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

 

洗浄装置
枚葉式洗浄装置 SU-3200
 
スピンスクラバ SS-3200
ウェットステーション FC-3100
     

 

レジスト塗布・現像装置
コータ・デベロッパ DT-3000
コータ・デベロッパ RF-310A
コータ・デベロッパ SK-60EX/80EX

 

熱処理装置
フラッシュランプアニール装置  LA-3000-F   
レーザーアニール装置 LT-3000/3100  
     
     
     

 

膜厚測定装置
エリプソ式膜厚測定装置 REシリーズ
光干渉式膜厚測定装置 VMシリーズ
     
     
     

 

FRONTIERプロジェクト   
枚葉式洗浄装置 SU-2000
スピンスクラバ SS-80EX  
コンパクトウェットステーション CW-1500
スプレーコータ SC-80EX  
パターン付きウェーハ外観検査装置  ZI-2000  
半導体後工程用 直接描画装置 DW-3000  

 

    株式会社 SEBACS
簡易点検による装置診断(従来装置の安定化と延命化)
装置空調ユニットのフロン規制対策(SA-30)
ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ(レヴィトロニクス社製)ほか
     株式会社 テックコミュニケーションズ
オンデマンド警告ラベル「警告ラベル.com」
「温度警告ラベル」
ラベルのコストダウンソリューション

 


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