検査機器

機種 部品供給期間 備考
AL-2010 2001年10月  
AL-2020 2004年10月  
AL-2100 2006年5月  
AL-3000 2010年5月  
AL-8000 2017年7月  
APT-1200 1996年6月  
AP-T2000 2000年6月  
AVS-1000 2001年8月  
AVS-2000 1998年4月  
DI-1000 2008年10月  
FP-1000F 2009年9月  
FP-8000 2016年1月  
FP-8200 2021年11月  
FP-8500 2022年5月  
MI-7700 2011年1月  
MI-8500 2013年10月  
MI-8700Ⅱ 2018年7月  
MI-9500 2021年1月  
OPI-2600 1998年4月  
OPI-5220 2001年10月  
OPI-5220α 2001年12月  
PI-5300 2005年12月  
PI-5400 2005年12月  
PI-5600 2005年12月  
PI-5800 2005年12月  
PI-5800α 2005年12月  
PI-6400 2008年4月  
PI-6600 2008年4月  
PI-6800 2008年4月  
PI-7400 2011年5月  
PI-7600 2011年5月  
PI-7800 2011年5月  
PI-7900 2011年5月  
PI-8000 2013年3月  
PI-8150 2015年10月  
PI-8180 2015年10月  
PI-8200 2015年10月  
PI-8300 2018年10月  
PI-8400 2017年7月  
PI-8400H 2020年10月  
PI-8500 2013年2月  
PI-8700 2015年3月  
PI-8700II 2015年10月  
PI-8700IIs 2017年1月  
PI-9000 2019年4月  
PI-9000H/S 2020年4月  
PI-9000H2/S2 2021年8月  
PI-9500 2021年2月  
VT-1000 2003年7月  
VT-1010 2005年7月  
VT-1020 2011年1月  
VT-1500 2011年4月  
VT-1800 2016年10月  
VT-2000 2021年4月  
WI-8000 2021年6月  
WI-8500 2020年3月  

露光機器

機種 部品供給期間 備考
FR-6000 2000年4月  
FR-7000 2008年12月  
FR-7000-S 2008年12月  
FR-7000-SC 2008年12月  
FR-7200 2012年5月  
FR-7200-S 2014年3月  
FR-8000 2010年12月  
FR-8000-LS 2010年12月  
FR-8000-N 2010年12月  
FR-8000-S 2010年12月  
FR-8500 2014年10月  
FR-8500F 2018年4月  
FR-8500FLS 2017年10月  
FR-8500LS 2017年10月  
FR-8500S 2018年10月  
LI-8500 2016年9月  
LI-9000 2018年11月  
LI-9000H 2018年11月  
LI-9200 2019年3月  
LI-9500 2018年12月  
LI-9500H 2019年3月  
LI-9700 2022年11月  
RG-4000 2004年12月  
RG-4500 2007年4月  
RG-5000 1996年3月  
RG-5050 2001年6月  
RG-5200 2002年6月  
RG-6200 2003年1月  
RG-6300 2004年9月  
RG-6500 2007年4月  
RG-7000 2008年10月  
RG-7500 2010年2月  
RG-8000 2012年1月  
RG-8500 2015年8月  
RG-8500Ⅱ 2018年7月  
XG-5000 2002年08月  

計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(手動式)

機種 部品供給期間 備考
STM-602 1996年05月  
ST-M602J 2003年04月  
STM-602-P 1995年06月  
STM-603-P 1998年04月  
ST-M802J 2002年05月  
STM-803-P 1996年07月  
UVM-6000 1998年05月  
UVM-8000 2000年02月  
VLM-6000 2003年03月  
VLM-8000 1999年06月  
VM-1000 2009年01月  
VM-1100 2006年03月  
VM-8000J 2006年05月  

計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(半自動動式)

機種 部品供給期間 備考
STM-602-JEX 1996年10月  
STM-602-L 1996年06月  
STM-602-PL 1996年11月  
STM-602-PLS 1995年04月  
STM-602-PS 1995年10月  
STM-803-PEX 1997年02月  
VL-M6000-S 2005年09月  
VL-M8000-S 2005年09月  
STM-603-PS 1998年04月  

計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(自動動式)

機種 部品供給期間 備考
STM-603-PLS 1998年01月  
STM-651-ML 1995年05月  
STM-651-S 1994年12月  
UM-8200 2005年05月  
UV-M8100 2002年05月  
VL-M6000-LS 1998年04月  
VLM-6100 2000年06月  
VL-M8000-LS 2005年04月  
VL-M8100 2002年07月  
VM-2000/3000 2011年10月  
VM-8200 2006年06月  

計測機器 -計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(FPD用)

機種 部品供給期間 備考
STM-1601 1996年08月  
STM-1601-P 1995年07月  
STM-1603-P 1999年08月  
VL-M1800-S 2004年11月  
VM-8000J-F 2008年03月  

計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(組込式)

機種 部品供給期間 備考
STM-602-S 1996年09月  
VL-M6000-FP 2002年01月  
VM-200E 2008年03月  
VM-201E 2009年04月  
VM-210E 2009年12月  
VM-300E 2006年04月  
VM-8000J-C 2005年01月  

計測機器 -計測機器 -光干渉式トレンチ測定装置

機種 部品供給期間 備考
SDM-601 1998年01月  
SDM-601-PLS 1995年11月  
SDM-603-PLS 1998年04月  
SD-M803-PLS 2002年05月  

計測機器 -非接触C-V測定装置

機種 部品供給期間 備考
CV-3000 2009年05月  
CV-8000 2001年03月  
CV-8000-L 2005年04月  

計測機器 -精密自動測長機

機種 部品供給期間 備考
DR-300-D 2000年03月  
DR-5000-D 2007年04月  
DR-5000-F 2007年05月  
DR-5500-F 2010年02月  
DR-5500-FII 2015年4月  
DR-5500-FIII 2025年12月  
DR-550-D 1999年02月  
DR-550-F 1998年10月  
DR-555-D 2000年07月  
DR-555-F 2000年11月  
DR-565-D/F/I 2011年11月  
DR-585-D/F/I 2004年10月  
DR-6010 1992年08月  
DR-6011-CU 1994年08月  
DR-6051-CU 1993年08月  
DR-7000 2012年09月  
DR-800-B 2004年01月  
DR-800-F 2007年09月  
DR-8011-CU 1995年01月  
DR-880-B/F 2002年07月  

現像機 -自動現像機

機種 部品供給期間 備考
LD-M1090 2021年09月