保守部品供給期間
- 検査機器
Inspection systems - 露光機器
Exposure systems - 計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(手動式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (manual type) - 計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(半自動動式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (semi-automatic type) - 計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(自動動式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (fully automatic type) - 計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(FPD用)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (for FPD) - 計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(組込式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (embedded type) - 計測機器 -光干渉式トレンチ測定装置
Measurement systems – Spectroscopic trench measurement systems - 計測機器 -非接触C-V測定装置
Measurement systems – Non-contact C-V measurement systems - 計測機器 -精密自動測長機
Measurement systems – Digital precision measurement systems - 現像機 -自動現像機
Developing system – Automatic developing system
検査機器 Inspection systems
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
AL-2010 | 2001年10月 | |
AL-2020 | 2004年10月 | |
AL-2100 | 2006年5月 | |
AL-3000 | 2010年5月 | |
AL-8000 | 2017年7月 | |
APT-1200 | 1996年6月 | |
AP-T2000 | 2000年6月 | |
AVS-1000 | 2001年8月 | |
AVS-2000 | 1998年4月 | |
DI-1000 | 2008年10月 | |
FP-1000F | 2009年9月 | ソフトウェア保守 2005年9月 |
FP-8000 | 2016年1月 | ソフトウェア保守 2012年1月 |
FP-8200 | 2021年11月 | ソフトウェア保守 2017年11月 |
FP-8500 | 2022年5月 | ソフトウェア保守 2018年5月 |
FP-9000 | 2026年9月 | ソフトウェア保守 2022年9月 |
MI-7700 | 2011年1月 | ソフトウェア保守 2007年1月 |
MI-8500 | 2013年10月 | ソフトウェア保守 2009年10月 |
MI-8700 | 2016年4月 | ソフトウェア保守 2012年4月 |
MI-8700Ⅱ | 2018年7月 | ソフトウェア保守 2014年7月 |
MI-9500 | 2021年1月 | ソフトウェア保守 2017年1月 |
MI-9700 | 2025年12月 | ソフトウェア保守 2023年3月 |
OPI-2600 | 1998年4月 | ソフトウェア保守 1994年4月 |
OPI-5220 | 2001年10月 | ソフトウェア保守 1997年10月 |
OPI-5220α | 2001年12月 | ソフトウェア保守 1997年11月 |
PI-5300 | 2005年12月 | ソフトウェア保守 2001年12月 |
PI-5400 | 2005年12月 | ソフトウェア保守 2001年12月 |
PI-5600 | 2005年12月 | ソフトウェア保守 2001年12月 |
PI-5800 | 2005年12月 | ソフトウェア保守 2001年12月 |
PI-5800α | 2005年12月 | ソフトウェア保守 2001年12月 |
PI-6400 | 2008年4月 | ソフトウェア保守 2004年4月 |
PI-6600 | 2008年4月 | ソフトウェア保守 2004年4月 |
PI-6800 | 2008年4月 | ソフトウェア保守 2004年4月 |
PI-7400 | 2011年5月 | ソフトウェア保守 2007年5月 |
PI-7600 | 2011年5月 | ソフトウェア保守 2007年5月 |
PI-7800 | 2011年5月 | ソフトウェア保守 2007年5月 |
PI-7900 | 2011年5月 | ソフトウェア保守 2007年5月 |
PI-8000 | 2013年3月 | ソフトウェア保守 2009年3月 |
PI-8150 | 2015年10月 | ソフトウェア保守 2011年10月 |
PI-8180 | 2015年10月 | ソフトウェア保守 2011年10月 |
PI-8200 | 2015年10月 | ソフトウェア保守 2011年10月 |
PI-8300 | 2018年10月 | ソフトウェア保守 2014年10月 |
PI-8400 | 2017年7月 | ソフトウェア保守 2013年10月 |
PI-8400H | 2020年10月 | ソフトウェア保守 2016年10月 |
PI-8500 | 2013年2月 | ソフトウェア保守 2009年2月 |
PI-8700 | 2015年3月 | ソフトウェア保守 2011年3月 |
PI-8700II | 2015年10月 | ソフトウェア保守 2011年10月 |
PI-8700IIs | 2017年1月 | ソフトウェア保守 2013年1月 |
PI-9000 | 2019年4月 | ソフトウェア保守 2015年4月 |
PI-9000H/S | 2020年4月 | ソフトウェア保守 2016年4月 |
PI-9000H2/S2 | 2021年8月 | ソフトウェア保守 2017年8月 |
PI-9200F | 2024年11月 | ソフトウェア保守 2020年11月 |
PI-9200H/S | 2027年3月 | ソフトウェア保守 2023年3月 |
PI-9400 | 2027年3月 | ソフトウェア保守 2023年3月 |
PI-9500 | 2021年2月 | ソフトウェア保守 2017年2月 |
PI-9700 | 2025年10月 | ソフトウェア保守 2023年3月 |
VT-1000 | 2003年7月 | ソフトウェア保守 1999年7月 |
VT-1010 | 2005年7月 | ソフトウェア保守 2001年1月 |
VT-1020 | 2011年1月 | ソフトウェア保守 2007年1月 |
VT-1500 | 2011年4月 | ソフトウェア保守 2007年4月 |
VT-1800 | 2016年10月 | ソフトウェア保守 2012年10月 |
VT-1850 | 2025年12月 | ソフトウェア保守 2021年12月 |
VT-2000 | 2021年4月 | ソフトウェア保守 2017年4月 |
VT-2000F | 2028年6月 | ソフトウェア保守 2024年6月 |
VT-2000H | 2028年6月 | ソフトウェア保守 2024年6月 |
VT-2000W | 2018年12月 | ソフトウェア保守 2014年12月 |
WI-8000 | 2021年6月 | ソフトウェア保守 2017年6月 |
WI-8500 | 2020年3月 | ソフトウェア保守 2016年3月 |
露光機器 Exposure systems
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
FR-6000 | 2000年4月 | ソフトウェア保守 1996年4月 |
FR-7000 | 2008年12月 | ソフトウェア保守 2004年12月 |
FR-7000-S | 2008年12月 | ソフトウェア保守 2004年12月 |
FR-7000-SC | 2008年12月 | ソフトウェア保守 2004年12月 |
FR-7200 | 2012年5月 | ソフトウェア保守 2008年5月 |
FR-7200-S | 2014年3月 | ソフトウェア保守 2010年3月 |
FR-8000 | 2010年12月 | ソフトウェア保守 2006年12月 |
FR-8000-LS | 2010年12月 | ソフトウェア保守 2006年12月 |
FR-8000-N | 2010年12月 | ソフトウェア保守 2006年12月 |
FR-8000-S | 2010年12月 | ソフトウェア保守 2006年12月 |
FR-8500 | 2014年10月 | ソフトウェア保守 2010年10月 |
FR-8500F | 2018年4月 | ソフトウェア保守 2014年4月 |
FR-8500FLS | 2017年10月 | ソフトウェア保守 2013年10月 |
FR-8500LS | 2017年10月 | ソフトウェア保守 2013年10月 |
FR-8500S | 2018年10月 | ソフトウェア保守 2014年10月 |
LI-5F-B | 2026年5月 | ソフトウェア保守 2022年5月 |
LI-5F-L | 2025年10月 | ソフトウェア保守 2021年10月 |
LI-5F-M | 2024年8月 | ソフトウェア保守 2020年8月 |
LI-5F-P | 2024年1月 | ソフトウェア保守 2020年1月 |
LI-5F-S | 2024年2月 | ソフトウェア保守 2020年2月 |
LI-5S-B | 2026年5月 | ソフトウェア保守 2022年5月 |
LI-5S-L | 2025年10月 | ソフトウェア保守 2021年10月 |
LI-5S-M | 2024年2月 | ソフトウェア保守 2020年2月 |
LI-5S-P | 2024年1月 | ソフトウェア保守 2020年1月 |
LI-5S-S | 2023年8月 | ソフトウェア保守 2019年8月 |
LI-8500 | 2016年9月 | ソフトウェア保守 2012年9月 |
LI-9000 | 2018年11月 | ソフトウェア保守 2014年11月 |
LI-9000H | 2018年11月 | ソフトウェア保守 2014年11月 |
LI-9200 | 2019年3月 | ソフトウェア保守 2015年3月 |
LI-9500 | 2018年12月 | ソフトウェア保守 2014年12月 |
LI-9500H | 2019年3月 | ソフトウェア保守 2015年3月 |
LI-9700 | 2022年11月 | ソフトウェア保守 2018年11月 |
RG-4000 | 2004年12月 | |
RG-4500 | 2007年4月 | |
RG-5000 | 1996年3月 | |
RG-5050 | 2001年6月 | |
RG-5200 | 2002年6月 | |
RG-6200 | 2003年1月 | |
RG-6300 | 2004年9月 | |
RG-6500 | 2007年4月 | |
RG-7000 | 2008年10月 | |
RG-7500 | 2010年2月 | |
RG-8000 | 2012年1月 | |
RG-8500 | 2015年8月 | |
RG-8500Ⅱ | 2018年7月 | |
XG-5000 | 2002年08月 |
計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(手動式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (manual type)
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
STM-602 | 1996年05月 | |
ST-M602J | 2003年04月 | |
STM-602-P | 1995年06月 | |
STM-603-P | 1998年04月 | |
ST-M802J | 2002年05月 | |
STM-803-P | 1996年07月 | |
UVM-6000 | 1998年05月 | |
UVM-8000 | 2000年02月 | |
VLM-6000 | 2003年03月 | |
VLM-8000 | 1999年06月 | |
VM-1000 | 2009年01月 | |
VM-1100 | 2006年03月 | |
VM-8000J | 2006年05月 |
計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(半自動動式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (semi-automatic type)
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
STM-602-JEX | 1996年10月 | |
STM-602-L | 1996年06月 | |
STM-602-PL | 1996年11月 | |
STM-602-PLS | 1995年04月 | |
STM-602-PS | 1995年10月 | |
STM-803-PEX | 1997年02月 | |
VL-M6000-S | 2005年09月 | |
VL-M8000-S | 2005年09月 | |
STM-603-PS | 1998年04月 |
計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(自動動式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (fully automatic type)
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
STM-603-PLS | 1998年01月 | |
STM-651-ML | 1995年05月 | |
STM-651-S | 1994年12月 | |
UM-8200 | 2005年05月 | |
UV-M8100 | 2002年05月 | |
VL-M6000-LS | 1998年04月 | |
VLM-6100 | 2000年06月 | |
VL-M8000-LS | 2005年04月 | |
VL-M8100 | 2002年07月 | |
VM-2000/3000 | 2011年10月 | |
VM-8200 | 2006年06月 |
計測機器 -計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(FPD用)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (for FPD)
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
STM-1601 | 1996年08月 | |
STM-1601-P | 1995年07月 | |
STM-1603-P | 1999年08月 | |
VL-M1800-S | 2004年11月 | |
VM-8000J-F | 2008年03月 |
計測機器 - 光干渉式膜厚測定装置(組込式)
Measurement systems – Spectroscopic film thickness measurement systems (embedded type)
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
STM-602-S | 1996年09月 | |
VL-M6000-FP | 2002年01月 | |
VM-200E | 2008年03月 | |
VM-201E | 2009年04月 | |
VM-210E | 2009年12月 | |
VM-300E | 2006年04月 | |
VM-8000J-C | 2005年01月 |
計測機器 -計測機器 -光干渉式トレンチ測定装置
Measurement systems – Spectroscopic trench measurement systems
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
SDM-601 | 1998年01月 | |
SDM-601-PLS | 1995年11月 | |
SDM-603-PLS | 1998年04月 | |
SD-M803-PLS | 2002年05月 |
計測機器 -非接触C-V測定装置
Measurement systems – Non-contact C-V measurement systems
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
CV-3000 | 2009年05月 | |
CV-8000 | 2001年03月 | |
CV-8000-L | 2005年04月 |
計測機器 -精密自動測長機
Measurement systems – Digital precision measurement systems
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
DR-300-D | 2000年03月 | |
DR-5000-D | 2007年04月 | |
DR-5000-F | 2007年05月 | |
DR-5500-F | 2010年02月 | |
DR-5500-FII | 2015年4月 | |
DR-5500-FIII | 2025年12月 | |
DR-550-D | 1999年02月 | |
DR-550-F | 1998年10月 | |
DR-555-D | 2000年07月 | |
DR-555-F | 2000年11月 | |
DR-565-D/F/I | 2011年11月 | |
DR-585-D/F/I | 2004年10月 | |
DR-6010 | 1992年08月 | |
DR-6011-CU | 1994年08月 | |
DR-6051-CU | 1993年08月 | |
DR-7000 | 2012年09月 | |
DR-800-B | 2004年01月 | |
DR-800-F | 2007年09月 | |
DR-8011-CU | 1995年01月 | |
DR-880-B/F | 2002年07月 |
現像機 -自動現像機
Developing system – Automatic developing system
機種 -Model- |
部品供給期間 -Parts supply period- |
備考 -Remarks- |
LD-M1090 | 2021年09月 |