光学式外観検査装置 MIYABI 7

MIYABI 7に搭載された新開発の照明ユニットでは3種類の光源が選べ、従来コントラストが確保できなかった基板でも見ることができ、良好な検査結果を得ることができます。
そして新開発のLVH(レーザービア)専用ロジックも搭載。穴径のズレやビア底不良など、スルーホールのほかトップ径80μmクラスのLVHに至るまで、孔検査におけるあらゆる異常を検知します。

特長

イージーセットアップ

フロントソフトウエアのセットアップが超簡単に!

専用のセットアップステーション「CU-9000」を大幅にバージョンアップ!検査条件はエンドユーザーの指示書どおりに入力するだけで、自動的に最適な条件に設定されます。あとは、レシピ選択と板厚入力をするだけの簡単操作、およそ15分で作業が完了します。

「MIYABI 7」本体側のセットアップもわずか3ステップ

検査データの読み込みと基板の位置合わせを行い、アライメントが完了すれば準備OK。
わずか3ステップで検査がスタートできます。

高スループット&高検出力

あらゆる基板を高精度に検査する、新開発の照明系

独自設計の「多角ラインドーム型照明」は、光量のバラつきがないことに加え、これまでパターン部と基材部のコントラストが確保しづらかった基板でも、確実にパターン認識することができ、良好な検査結果が得られます。

パッド・ラインを個別に条件設定でき、欠陥検出精度はさらにハイレベルに

新開発の「Pad & Line F eature検査機能」を搭載。各パッド幅、ライン幅ごとに個別のパラメータで測長検査を行うことで、欠陥を高精度に検出することができます。

スルーホールやレーザービア(LVH)をパターンと同時に全穴検査

MIYABIの特長であるサブピクセル単位の測長検査に加え、新開発のLVH専用ロジックも搭載。従来の穴ズレや穴径異常、座切れといった欠陥のみならず、ビア底の異常も高精度に検出します。スルーホールのほかトップ径80μmクラスの LVHを、パターンと同時に全穴検査が可能です。

仕様

型式 PI-7-H
照明 LED(R、B、IR)
積載可能サイズ 720(X)× 740(Y)mm
最大検査エリア 720(X)× 740(Y)mm
スループット
(サイズ 610(X)× 457(Y)mm、20μm L/Sの場合)
155面/時(5μm分解能)
機械寸法(W×D×H) 1,420 × 1,940 × 1,515 mm
重量 850 kg

※スループットは、当社条件による数値です

検査対象とスループットの目安

L/S (μm) 20 40
面/時間 155 212

※ワークサイズ : 610×457mm 基板交換時間を含む

プリべリフィケーションシステム 「iSift」

検査後の欠陥確認が、ネットワーク上のPCで行えます。スキャンし終えたエリアから欠陥画像がリアルタイムでサムネイル表示され、マウス操作でOK/NGを効率良く判定して分類。VTシリーズでのベリファイ作業前に欠陥を選別することで、作業の効率化と確認時間の短縮を可能にします。