光学式外観検査装置 MIYABI 7

MIYABI 7に搭載された新開発の照明ユニットでは3種類の光源が選べ、従来コントラストが確保できなかった基板でも見ることができ、良好な検査結果を得ることができます。
そして新開発のLVH(レーザービア)専用ロジックも搭載。穴径のズレやビア底不良など、スルーホールのほかトップ径60μmクラスのLVHに至るまで、孔検査におけるあらゆる異常を検知します。

特長

フロントソフトウエアのセットアップが超簡単に!

専用のセットアップステーション「CU-9000」を大幅にバージョンアップ!検査条件はエンドユーザーの指示書どおりに入力するだけで、自動的に最適な条件に設定されます。あとは、レシピ選択と板厚入力をするだけの簡単操作、およそ15分で作業が完了します。

あらゆる基板を高精度に検査する、新開発の照明系

独自設計の「多角ラインドーム型照明」は、光量のバラつきがないことに加え、これまでパターン部と基材部のコントラストが確保しづらかった基板でも、確実にパターン認識することができ、良好な検査結果が得られます。

パッド・ラインを個別に条件設定でき、欠陥検出精度はさらにハイレベルに

新開発の「Pad & Line Feature検査機能」を搭載。パッド幅、ライン幅ごとに個別のパラメータで測長検査を行うことで、欠陥を高精度に検出することができます。

スルーホールやレーザービア(LVH)をパターンと同時に全穴検査

MIYABIの特長であるサブピクセル単位の測長検査に加え、新開発のLVH専用ロジックも搭載。従来の穴ずれや穴径異常、座切れといった欠陥のみならず、ビア底の異常も高精度に検出します。スルーホールのほかトップ径60μmクラスのLVHを、パターンと同時に全穴検査が可能です。
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分析機能も充実

専用開発の分析ツールソフトにより、基板ごとに各種分析が可能。分析レポートはCSVの出力だけでなく印刷用に画像出力が可能なため、すぐにお使いいただけます。

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Direct Imaging System Ledia 6/6H