最終外観検査装置 FP-9000

特長

赤外光の特徴を生かした「IR照明検査技術」 2017年秋リリース

波長800nm以上の赤外光が持つ「SR(ソルダーレジスト)を透過しやすく、銅に反射しやすい」という特徴を、最終外観検査工程に活用。従来の白色照明では困難だった濃色SR基板などでも、パターンを鮮明に写し出し、欠陥検出精度を飛躍的に向上します。

一般的な白色照明画像

一般的な白色照明画像
白色照明は濃色SRでの吸収率が高く、光がSRに吸収されてしまい、パターンに届きません。そのため、濃色SR基板ではパターン認識が困難でした。

IR照明画像

IR照明画像
IR照明(赤外照明)は濃色SRでの透過率が高く、光がパターンに届きます。そのため、濃色SR基板でもパターンを鮮明に写し出します

比較画像

セットアップによる装置占有時間を大幅に短縮

装置本体で行っていたセットアップの装置占有を、3つのソリューションで大幅に短縮します。

セットアップ比較

アライメントマークを自動認識・自動設定

SCREEN独自の画像・図形処理技術を、AVIに応用展開。ボタンひとつで、基板四隅のアライメントマークを自動で認識・設定します。

アライメントマークの自動認識・設定

人間の「疑似輪郭認識」を応用した新検査アルゴリズム

人間の脳内視覚野における「疑似輪郭認識」のメカニズムと、SCREENが長年培ってきた光学系技術を応用した、独自開発の画像処理エンジンを搭載。欠陥の輪郭を高速で識別する新アルゴリズムにより、微妙な色・明るさの違いでも、虚報を抑えて真欠陥のみを確実に検出します。

新検査アルゴリズム

Sentflowとの連携

これまで手間と時間のかかっていたデータ収集作業を自動化し、トラブル発生時の原因追求や前工程へのフィードバックが簡単・確実に行えます。また、QCやTPMに準拠したレイアウトを採用しており、集計レポートや会議資料作成の手間が大幅に削減できます。