■ウェーハの調達

最初にシリコンウェーハを仕入れる。ウェーハのサイズはφ 200mm とφ 300mm が一般的である。

なお、ウェーハには処理工程で位置決めをするときのために目印がついている。その目印として200mm ウェーハまでの時代はオリフラが一般的だったが、300mm ウェーハではもっと小さなノッチと呼ばれる切れ目がついている。

一方、特殊ＩＣ向けでは化合物半導体ウェーハ（ガリウム- 砒素ウェーハやガリウム- リンウェーハなど）やＳＯＩウェーハ（シリコン－絶縁膜－シリコンという構造の特殊ウェーハ）を使うこともある。