■感光剤塗布

半導体回路を作るには、写真の原理を使う。そこで、ウェーハに回路を焼き付ける前に感光剤を塗布する工程が必要になる。この感光剤は「フォトレジスト」または単に「レジスト」と呼ばれる。

○スピンコータ

ウェーハにレジストを塗る装置はスピンコータと呼ばれる。スピンコータの行う基本処理は、
①ウェーハの上にレジストの液を滴下する
②ウェーハを回転（スピン）させ、その遠心力で液体レジストをウェーハ全面に広げる
③ウェーハに塗布された液体レジストをホットプレートで乾かす
の3 つである。また最近は、レジスト塗布の前後に反射防止膜を塗布するニーズも増えている。