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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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Product

パターン付ウェーハ外観検査装置

ZI-3500

loT向け電子デバイスに対応した検査装置

  • C-WET spin

統合プラットフォームコンセプト

  • φ100mmからφ300mmまでのウェーハサイズに対応
  • FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様なウェーハ搬送機構に対応
  • パーツ共通化による安定供給と短納期に対応

<関連製品>

特長

1. ハイスピード検査

独自の検査ヘッドと高速画像処理エンジン搭載により、従来比1.5倍のハイスループットを実現。ウェーハ内のチップサイズや個数に影響を受けずに、高い生産性を実現します。

2. 高解像度対応

1.0μmの高解像度レンズを新たに採用し、より高精度な検査に対応。さらに解像度の異なるレンズを同時に搭載でき、3段階の切替がレシピで容易に行えます。

3. ユーザーフレンドリーな操作性

簡単操作で短時間でのレシピ作成が可能。ウェーハサイズの切替もスイッチひとつで行えます。さらに薄ウェーハにも、装置内パーツを交換せずに容易に対応できます。

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