SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

  1. HOME
  2. 製品情報
  3. VM-3500
Product

光干渉式膜厚測定装置

VM-3500

loT向け電子デバイスに対応した計測装置

  • C-WET spin
  • LMBD ACE

統合プラットフォームコンセプト

  • φ100mmからφ300mmまでのウェーハサイズに対応
  • FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様なウェーハ搬送機構に対応
  • パーツ共通化による安定供給と短納期に対応

<関連製品>

特長

1. 量産ライン向け膜厚管理に最適

膜厚管理手法で、光干渉波形からスピーディに膜厚を測定。コストパフォーマンスに優れています。また、画像認識機能(オプション)により、パターンウェーハの特定の場所での測定にも対応しています。

2. 幅広い膜厚範囲に対応

光干渉波形から膜厚を計算する手法として、Fitting法とPeak&Valley法の2種を搭載し、最大4層までの積層膜や幅広い膜厚範囲に対応。ヘッドの種類により、紫外光領域から近赤外光領域まで幅広くカバーします。

3. さまざまな膜種プログラム

標準25種類の膜種プログラムを搭載。また、特殊な膜種構造に関しても、当社の専門エンジニアによる膜種プログラム作成対応が可能です。

製品情報