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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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Product

スピンスクラバ

SS-80EX

豊富な実績を誇るSSシリーズの
安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

  • AQUASPIN
  • AQUASPIN

特長

1. 高生産性

長年にわたるスピンスクラバ技術を踏襲しながら、機能性をさらに向上。最大毎時160枚(弊社現行機比111%)の高速処理を可能にしました。
※システム構成と条件により異なります。

2. 操作性

制御システムをリニューアルし、直感的な簡単操作でオペレーションできる専用GUIを搭載。現場の作業効率向上に貢献します。

3. 稼働安定性

独自開発の「チャンバ分離設計」を採用。チャンバが駆動している最中でも、停止しているチャンバに対して、ブラシ・ピン交換やカップ清掃などのメンテナンスができ、ダウンタイムを大幅に低減します。

4. 多彩な洗浄ツール

信頼と実績のある6種類の洗浄ツールを搭載。目的や用途に応じて幅広く対応します。とりわけべベル洗浄は、洗浄ブラシを高精度で駆動・制御することにより、歩留まり向上に大きな効果を発揮します。

5. フレキシブルな装置構成

設置スペースや処理能力に応じて、スピンヘッドを2基から最大6基まで搭載可能。導入後の拡張にも柔軟に対応します。

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