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Product

スピンスクラバ

SS-3200

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

  • 300mm
  • Aqua spin

特長

1. 高生産性

最先端搬送機構と独自のアルゴリズムにより、従来装置SS-3100比で約2倍にスループットが向上。最大で毎時800枚のハイスループットを実現しました。

2. 省スペース設計

SS-3100と同じく最大8チャンバの処理ユニットを搭載。処理チャンバユニットを増やすことなくハイスループット化を実現しているため、フットプリントは従来装置とほぼ同等になっています。

3. 最新の洗浄ツール搭載により高い洗浄性能を実現

微細パターンへのダメージレス洗浄を実現するスプレイ洗浄システム「NanosprayÅ」をはじめ、従来の装置で培ってきた優れた洗浄ツールの搭載が可能。次世代デバイスの歩留まり向上に大きく貢献します。

4. クリーン度向上で次世代プロセスに対応

微細化に対応した部材の選定や新生産方式での徹底したパーティクル対策により、装置のクリーン度が向上。ますます清浄度に厳しくなる次世代洗浄プロセスに対応します。

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