PLPコータシステム
Lemotia
Fan-out、ガラスコア、2.xD等の各種先端パッケージに最適化された塗布乾燥装置
本製品はSCREEN HDの取り扱い製品となります。
詳しくは下記からご覧ください。
https://www.screen.co.jp/ft/products/lemotia
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 熱処理装置
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- ガラス基板(フォトマスク)向け装置