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DT-3000(LithoSpinDUO-S)

コータ・デベロッパ

DT-3000

LithoSpinDUO-S

進化したデュアルトラックシステムによる高生産性と独自技術による次世代のクリーン度を実現

  • 300mm
  • Litho Spin Duo S

特長

1. Super clean processing

次世代のクリーン度に対応するため進化を重ねてきたSCREEN製バルブ・ポンプを搭載し、さらなる塗布液中パーティクル減少を実現しています。また、処理エリアと搬送エリアの供給風量を個別に制御することで、装置内圧調整を容易化。ダウンフローの安定化により、装置内清浄度を向上しました。

2. Best productivity

進化したデュアルトラックシステムと搭載ベークユニット数アップによって、A r F 液浸露光装置インライン構成にて320WPH以上の高生産性を実現しました。また、メンテナンス時のベークユニットへのアクセス性を高めることでダウンタイムを削減。さらに、ウェーハの吸着搬送によってガイドのメンテナンスが不要になり、EBRの精度も向上しています。

3. Leading-edge process results

独自構造のベークプレートにより、高い温度均一性と高レスポンスを併せ持つ次世代PEBユニットを搭載。大きな反りウェーハに対する処理をはじめ、さまざまなご要求に対して幅広いソリューションを提供します。

4. Energy conservation

ACUなど付帯設備を減らすことで電力や冷却水などの用力を削減。電力値換算でエネルギー消費を約20%抑えることに成功しています。

5. Reliability assured

デュアルプロセスのコンセプトはそのままに、装置の安定性をさらに追求。ユニット安定性・ベーク処理の安定性を向上しています。

6. Wireless operation

サービスパネルのワイヤレス化によって、操作性を大幅に向上。より自由でストレスのないオペレーションが可能です。

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