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VM-2200/3200

光干渉式膜厚測定装置

VM-2200/3200

国内No.1の販売実績を誇る多機能モデル

  • 100mm-300mm
  • LMBD ACE

特長

  1. 高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。
    (SiO2、5ポイント測定時)
  2. VM-2200/3200はログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートを向上させています。また、長年、半導体業界で培った経験をもとに、ユーザメンテナンス性を重視した設計となっています。
  3. 長年培った経験をもとに、容易なレシピ作成、光学定数のインプットを実現しています。マウス操作を重視したアプリケーションになっており、ペンタッチ式パネルへの対応も可能です。
  4. 装置の置き換えや設置スペースの悩みを軽減するコンパクト設計です。
  5. オプションで、トレンチ測定機構を搭載することで、膜厚測定・トレンチ測定を1台で行えます。(VM-3200のみ)

製品情報