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VM-2500/3500

光干渉式膜厚測定装置

VM-2500/3500

通信用デバイスなどの面内多点測定に最適、
高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現

  • 100mm-300mm
  • LMBD ACE

特長

  1. 高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。(SiO2、5ポイント測定時)
  2. VM-2500/3500はログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートを向上させています。
    また、長年、半導体業界で培った経験をもとに、ユーザメンテナンス性を重視した設計となっています。
  3. 長年培った経験をもとに、容易なレシピ作成、光学定数のインプットを実現しています。
    マウス操作を重視したアプリケーションになっており、ペンタッチ式パネルへの対応も可能です。
  4. 搭載OSは、Windows10を標準仕様にしています。
  5. 全面吸着ステージを採用した、多点測定時のスループット向上モデルが選択できます。

  6. トレンチ測定機構を搭載することで、膜厚・トレンチ測定を1台で行えます。(VM-3500のみ)

製品情報