株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ（本社・京都市）とCEA Techの研究機関である電子情報技術研究所（Leti-フランス・グルノーブル）は、ナノ秒単位で処理を行うSCREENのUVレーザーアニール装置「LT-3100」をLetiの拠点に導入し、両者の協力関係をさらに強化することに合意しました。LT-3100は、SCREENのグループ会社でフランスに拠点を置くLaser Systems and Solutions of Europe SASU（LASSE）が製造開発を行っています。

LetiのCEOであるMarie Semeriaは、「SCREENのナノ秒単位のUVレーザーアニール装置を、最新のLetiの装置インフラに導入することで、開発が進められている今後の技術における新しいイノベーションの可能性を開くことができると思います。SOIやCoolCubeTM、ナノワイヤーなどの技術開発において、新しい特性を持った素材や、最小限のサーマルインパクトでの超薄膜改質などの開発を行っていますが、われわれは難しい課題に直面しています。LT-3100を活用することによって、技術的な突破口となるソリューションが実現し、いずれは実用化できる開発につながっていくと期待しています」と述べています。

SCREENセミコンダクターソリューションズの代表取締役社長執行役員 須原忠浩は、次のように述べています。「Letiとの長期にわたる共同開発の成功に引き続き、当社のレーザー技術をLetiのエコシステムに組み込み、将来の革新的な技術に必要とされる「More than Moore」やIoTなどをサポートできることを大変うれしく思っています。共同開発としての活動に加えて、LASSEの欧州ラボとしてLetiの最先端の設備を利用できるようになるため、顧客にこれまでにないデモンストレーション設備の提供が可能になります。ナノ秒単位のUVレーザーアニール装置の技術とリソースが、Letiによるサポートとともに、多岐にわたる半導体製造の研究開発を推し進め、それによりもたらされるイノベーションの真価が示されることに期待しています」

このレーザーアニール装置は、2017年の上半期に本格稼働する予定で、さまざまなウェーハサイズをサポートすることで、Letiの各ラボで求められる異なるニーズに対応します。

■ 電子情報技術研究所（Leti）

CEA Tech内の先端技術の研究機関の一つである電子情報技術研究所（Leti）は、世界中の人々の生活の質を向上することを目的に、マイクロ技術やナノ技術分野における基礎研究と製造との間にある溝を埋める懸け橋の役割を果たしています。イノベーションを創造し、それを産業界に移転することを任務とし、2,800もの特許資産に裏打ちされるように、さまざまな大規模産業、中小企業やベンチャー企業とパートナーシップを結び、その競争力を強化する最先端のソリューションを支援しています。現在までに59のベンチャー企業の起業を実現してきました。8,500m2の広さを誇る次世代クリーンルームでは、宇宙用電子部品からスマートデバイスまで、幅広く活用されているマイクロソリューションやナノソリューションにおける200mmと300mmのウェーハ処理に対応しています。1,900人を超えるスタッフを擁し、フランスのグルノーブルにある本拠地のほか、カリフォルニア州シリコンバレーや東京にも事務所があります。フランスの原子力・代替エネルギー庁（CEA）の技術研究機関であるCEA Techは、防衛と安全、原子力エネルギー、産業と基礎科学の分野で革新的な研究開発のキープレーヤーで、トムソン・ロイター社から世界で最も革新的な研究機関と認定されています。イノベーション主導の独自の文化を持ち、他に類のない専門性で新しい技術を開発し、産業界に広めることで、高性能な製品の創出や競争力の提供を行っています。
Letiについての詳細はホームページをご参照ください。
www.leti.fr@CEA_Leti

■ 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREENセミコンダクターソリューションズは、大日本スクリーン製造株式会社の半導体製造装置ビジネスを継承し、SCREENホールディングスのグループ会社として設立されました。同社は、ウェーハ洗浄装置、リソグラフィー装置、サーマルアニール装置など幅広い分野での装置メーカーで、半導体製造装置業界では世界のトップ10サプライヤーの地位を確立しています。
SCREENセミコンダクターソリューションズについての詳細はホームページをご参照ください。
www.screen.co.jp/spe

本件についてのお問い合わせ先：

Leti
Sarah-Lyle Dampoux
Mahoney & Lyle
+33 6 74 93 23 47
sldampoux@mahoneylyle.com

SCREEN
SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
+81-75-417-2527
speinfo@screen.co.jp

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