2016年9月1日
Doc. No.: SPE160901J
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、世界最高水準※1となる処理能力と、独自の洗浄処理技術を備えた半導体ウェーハの枚葉式洗浄装置※2「SU-3300」を開発。2016 年9月から販売を開始します。
近年、半導体デバイスの微細化・多様化に伴い、ウエット洗浄装置には微細なパターンの倒壊抑制、微小パーティクルの制御などの課題をクリアする安定性と、さらなるトータルコスト低減を実現する高い経済性が求められています。
このような業界の要求に応えるため当社は、長年培ってきた枚葉式洗浄装置のノウハウを継承し、さらに進化させた7機種目となる新製品「SU-3300」を開発しました。この装置は、チャンバーサイズを最小化した4段積みタワー構造により最大24台のチャンバーの搭載が可能。設置スペースの効率化と併せて世界最高水準の生産性を実現しました。また、洗浄処理においても、定評のある独自のクリーン化技術を進化させた「APAC2」※3を搭載。チャンバー内の処理環境を向上させ、微細化が進む半導体デバイスに対応します。さらにエッチングの均一性と薬液消費量の削減を同時に実現する「Nano control nozzle」※4や、微細なパターンの倒壊を抑制する乾燥技術「Nanodry7」※5など、処理性能を高める独自の新技術を搭載しています。
当社は、今回「SU-3300」を枚葉式洗浄装置のラインアップに加えることにより、お客さまの幅広いニーズに対応し、半導体デバイス業界へのさらなる発展に貢献していきます。
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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
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TEL:075-417-2527
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