ウェットステーション
CW-2000
【Wafer size 50mm ~ 200mm】
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置
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Wafer size 150mm ~ 200mm
ウェーハ洗浄装置 / ウェットステーションWS-620C/
WS-820C/
WS-820L
ライン構成がフレキシブルな高スループット
バッチ式洗浄システム
特長
1. ２タイプの搬送方式を準備
キャリア搬送処理のWS-620C（150mmウェーハ用）/ WS-820C（200mmウェーハ用）と、キャリアレス搬送処理のWS-820L（200mmウェーハ用）を提供します。
2. フレキシブルな設計
目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで可能です。
3. 高スループット
複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。
4. 高品質処理
処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定した高品質な処理が可能です。
5. 周辺機器も充実
ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。
6. ウォータマークを抑制
減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。（WS-820Lのみ対応）
QDR : Quick Dump Rinsing bath / FR : Final Rinsing bath
SD : Spin Dryer / EDR : Dump Rinsing bath
注） QDR : 機能水洗槽 FR : 最終水洗槽 SD : スピンドライヤ EDR : HF系後の機能水洗槽
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その他の取扱製品
ウェットステーション
FC-821L
【Wafer size 200mm】
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置
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