Wafer size 100mm ~ 300mm

光干渉式膜厚測定装置VM-2500/
VM-3500

通信用デバイスなどの面内多点測定に最適、高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現

特長

高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。（SiO₂、5ポイント測定時）
VM-2500/VM-3500はログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートを向上させています。また、長年、半導体業界で培った経験をもとに、ユーザメンテナンス性を重視した設計となっています。
長年培った経験をもとに、容易なレシピ作成、光学定数のインプットを実現しています。マウス操作を重視したアプリケーションになっており、ペンタッチ式パネルへの対応も可能です。
搭載OSは、Windows10を標準仕様にしています。
全面吸着ステージを採用した、多点測定時のスループット向上モデルが選択できます。
トレンチ測定機構を搭載することで、膜厚・トレンチ測定を１台で行えます。（VM-3500のみ）