製品紹介

【Wafer size 100mm ~ 200mm】
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ。

【Wafer size 50mm ~ 200mm】
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

【Wafer size 150mm ~ 200mm】
ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

【Wafer size 200mm】
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

【Wafer size 150mm ~ 200mm】
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現

【Wafer size 76mm ~ 200mm】
多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

【Wafer size 150mm ~ 200mm】
多様な基板へフレキシブルに対応

【Wafer size 100mm ~ 200mm】
凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布

【Wafer size 125mm ~ 300mm】
loT向け電子デバイスに対応した計測装置

【size 100mm ~ 300mm】
通信用デバイスなどの面内多点測定に最適、高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現

【Wafer size 100mm ~ 300mm】
製造ラインへの導入も可能な卓上モデル

【Wafer size 50mm ~ 300mm】
R&Dに最適な顕微鏡モデル

【Wafer size 100mm ~ 300mm】
300mmウェーハ対応・高解像度対応のZIシリーズ最上位機種

【Wafer size 76mm ~ 200mm】
ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求