Doc. No.: NR180613

株式会社SCREENホールディングスではこのたび、公益社団法人 発明協会が主催する「平成30年度全国発明表彰」において、「大面積レジスト塗布装置における異物検出方法の発明(特許第4105613号)」が「発明賞」を受賞しました。

ホテルオークラ東京での表彰式
賞状とメダル

「全国発明表彰」は、1919年、日本の科学技術の向上と産業の発展に寄与することを目的に始まったもので、多大な功績を挙げた発明、考案、意匠、あるいは、その優秀性から以後大きな功績を挙げることが期待される発明などを表彰しています。

今回の受賞に当たっては、液晶や有機ELなどのディスプレー製造工程でレジスト(感光液)を塗布する装置において、塗布材料を均一に吐出するスリットノズルの保護および生産性向上に寄与する「異物検出手法」が高く評価されました。なお、本発明を搭載した当社製塗布装置「リニアコータ」は、極めて安定した塗布性能と生産性により、2003年の販売開始以来、大型TFTアレイ用として世界ナンバーワンのシェアを継続して獲得しています。

当社は今後も、ディスプレーパネル業界のさまざまなニーズに応え、同分野の発展に貢献していきます。
 
※当社調べ

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